[发明专利]一种晶圆多工位边缘抛光设备

权利要求书

1.一种晶圆多工位边缘抛光设备，其特征在于：其结构包括固定杆(1)、抛光系统(2)、液压缸(3)、机体(4)，所述机体(4)顶端面设有两个抛光系统(2)，所述抛光系统(2)正上方设有液压缸(3)，所述液压缸(3)和抛光系统(2)机械连接，所述机体(4)最顶端设有固定杆(1)，所述抛光系统(2)包含进风口(21)、主杆(23)、折叠筒(24)、固定盘(25)、操作平台(27)，所述操作平台(27)固定在机体(4)正上方，所述操作平台(27)正上方设有固定盘(25)，所述固定盘(25)顶端面设有折叠筒(24)，所述折叠筒(24)为空心结构，所述折叠筒(24)顶端安装主杆(23)，所述主杆(23)上开有进风口(21)，所述进风口(21)和机体(4)机械连接；

所述折叠筒(24)为上窄下宽的结构；

所述固定盘(25)由吸气内环(251)、细道(252)、圆形板(253)、吸气外环(254)构成，所述圆形板(253)正中间设有吸气内环(251)，所述吸气外环(254)的内直径大于吸气内环(251)的外直径，所述吸气外环(254)位于圆形板(253)外表面，所述吸气外环(254)和吸气内环(251)通过两条以上的细道(252)连通，所述吸气内环(251)和折叠筒(24)连通；

所述圆形板(253)靠近折叠筒(24)的顶部外弧面设有三个移动架(26)，所述移动架(26)和圆形板(253)采用滑动配合，所述移动架(26)由槽口(261)、滑槽(262)、扇形架(264)组成，所述槽口(261)开在圆形板(253)中，所述槽口(261)的内部地面正中间设有滑槽(262)，所述扇形架(264)和槽口(261)采用滑动配合；

所述扇形架(264)靠近外侧的那端设有一个指凹口(263)；

所述扇形架(264)为镂空的扇形结构；

所述折叠筒(24)和进风口(21)之间设有风量调节环(22)，所述风量调节环(22)和主杆(23)机械连接，所述风量调节环(22)由转动环(221)、风口(222)、挡板(223)、壳体(224)组成，所述壳体(224)和转动环(221)转动配合，所述壳体(224)内壁上固定设有挡板(223)，所述挡板(223)为三角扇形结构，所述挡板(223)和转动环(221)相互配合，和挡板(223)水平空间内未封闭的空间为风口(222)；

所述圆形板(253)和折叠筒(24)相对地底面设有海绵块(36)，所述海绵块(36)和圆形板(253)底面的形状相贴合；

所述海绵块(36)外表面光滑。