[发明专利]电气小车系统

权利要求书

1.一种电气小车系统，用于半导体设备，包括整机支架、电气车体，其特征在于，所述电气小车系统还包括：

导向轴；

第一连接结构，分别与所述导向轴和所述整机支架连接；

第二连接结构，分别与所述导向轴和所述电气车体连接；

并且，所述第一连接结构和所述第二连接结构被设置为使所述电气车体能够围绕所述导向轴转动，所述整机支架相对于所述导向轴固定不动。

2.根据权利要求1所述的电气小车系统，其特征在于，所述第一连接结构包括设置在所述整机支架的底板上的第一定位孔，所述导向轴的一端插设在所述第一定位孔中；并且，所述导向轴的位于所述第一定位孔中的第一部分的外周壁与所述第一定位孔的孔壁相配合，以限定所述导向轴的位置。

3.根据权利要求2所述的电气小车系统，其特征在于，所述第一部分和所述第一定位孔在所述导向轴的径向截面上的正投影形状相同，且所述第一部分被设置为能够限制所述导向轴在其周向上的旋转自由度。

4.根据权利要求2所述的电气小车系统，其特征在于，所述第一连接结构还包括连接件，所述连接件与所述整机支架固定连接，并在所述连接件中设置有第二定位孔，所述导向轴的远离所述第一部分的一端插设在所述第二定位孔中，并且所述导向轴的位于所述第二定位孔中的第二部分的外周壁与所述第二定位孔的孔壁之间具有间隙。

5.根据权利要求4所述的电气小车系统，其特征在于，所述第一连接结构还包括位置调节组件，所述位置调节组件用于调节所述连接件与所述整机支架在所述导向轴径向上的相对位置，所述位置调节组件包括：

设置在所述连接件中的长孔，所述长孔的长轴方向与所述导向轴的径向相互平行；

设置在所述整机支架上的螺纹孔，所述螺纹孔与所述长孔相对应；

第一固定螺钉，穿设在所述长孔中，且与所述螺纹孔螺纹连接；

紧定螺钉，用以将所述连接件与所述整机支架固定连接。

6.根据权利要求2所述的电气小车系统，其特征在于，所述第二连接结构包括轴承和加强板，其中，所述轴承与所述电气车体固定连接，且所述轴承套设在所述导向轴上，并与所述导向轴可转动的配合；所述加强板设置在所述电气车体上，且位于与所述轴承的连接处，用于增强所述电气车体的刚度。

7.根据权利要求1-6任意一项所述的电气小车系统，其特征在于，还包括固定法兰和锁紧销，其中，

所述固定法兰套设在所述导向轴上，且与所述导向轴固定连接，并在所述固定法兰中设置有沿其周向间隔设置的两个第一限位孔，各所述第一限位孔的轴向沿所述导向轴的径向设置，且在所述电气车体上设置有第二限位孔；并且，在所述电气车体转动至指定角度范围的上限位置或下限位置时，所述第二限位孔与其中一所述第一限位孔同轴；

所述锁紧销用于通过插设在同轴的所述第二限位孔与其中一所述第一限位孔中，来锁紧所述电气车体的位置。

8.根据权利要求7所述的电气小车系统，其特征在于，还包括环形缓冲垫和固定链，其中，所述环形缓冲垫套设在所述导向轴上，并位于所述固定法兰与所述电气车体之间；所述固定链的两端分别与所述锁紧销和所述电气车体连接。

9.根据权利要求1-6任意一项所述的电气小车系统，其特征在于，还包括定位块、第一定位螺钉和第二定位螺钉，其中，所述第一定位螺钉和所述第二定位螺钉用于将所述定位块分别与所述电气车体与所述整机支架固定连接。

10.根据权利要求1-6任意一项所述的电气小车系统，其特征在于，还包括止挡块，所述止挡块设置在所述整机支架上，且所述止挡块被设置为在所述电气车体转动至指定角度范围的上限位置或下限位置时，能够与所述电气车体相抵，以阻挡所述电气车体继续转动。