[发明专利]一种半导体高精洗装置有效
| 申请号: | 202010021659.0 | 申请日: | 2020-01-09 |
| 公开(公告)号: | CN111069156B | 公开(公告)日: | 2020-11-10 |
| 发明(设计)人: | 吴果;丁玉清;刘展波;李辉;张欣欣;熊盼龙 | 申请(专利权)人: | 深圳市鑫承诺环保产业股份有限公司 |
| 主分类号: | B08B3/02 | 分类号: | B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67;H01L21/02 |
| 代理公司: | 深圳知帮办专利代理有限公司 44682 | 代理人: | 谭慧 |
| 地址: | 518000 广东省深圳市宝*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 半导体 高精洗 装置 | ||
1.一种半导体高精洗装置,包括第一横板(1)、箱体(2)和排水管(6),所述第一横板(1)的上表面固接有箱体(2),所述箱体(2)的下方内部连通有排水管(6),所述排水管(6)的下方贯穿第一横板(1),所述排水管(6)与第一横板(1)和箱体(2)过盈配合,其特征在于:所述第一横板(1)的上表面右侧安装有清洗装置(3);所述清洗装置(3)包括水泵(301)、第一水管(302)、第二水管(303)、横杆(304)和喷头(305);左右所述水泵(301)的下表面与第一横板(1)的上表面固定相连,左右所述水泵(301)的进水口处固接有第一水管(302),左右所述第一水管(302)的内侧贯穿箱体(2)的左右两侧下方,左右所述第一水管(302)的外壁与箱体(2)过盈配合,左右所述水泵(301)的出水口处固接有第二水管(303),左右所述第二水管(303)的内侧贯穿箱体(2)的左右两侧中间,左右所述第二水管(303)的外壁与箱体(2)过盈配合,左右所述第二水管(303)的上方外壁固接有横杆(304),左右所述横杆(304)的外侧与箱体(2)的左右两侧上方内壁固定相连,左右所述第二水管(303)的上方内侧固接有多个喷头(305),左右所述多个喷头(305)与第二水管(303)相连通;
其中,所述第一横板(1)的上表面左侧安装有升降装置(4);所述升降装置(4)包括第一弧形块(401)、竖杆(402)、套筒(403)、第二弧形块(404)、电动推杆(405)、第三弧形块(406)、第二横板(407)和弹簧(408);所述第一弧形块(401)的下表面与第一横板(1)的上表面固定相连,所述第一弧形块(401)的后端面通过转轴转动连接有竖杆(402),所述竖杆(402)的中间外壁套接有套筒(403),所述套筒(403)的内壁与竖杆(402)的外壁间隙配合,所述套筒(403)的前端面通过转轴转动连接有第二弧形块(404),所述第二弧形块(404)的下表面固接有电动推杆(405),所述电动推杆(405)的下方通过转轴转动连接有第三弧形块(406),所述第三弧形块(406)的下表面与第一横板(1)的上表面固定相连,所述竖杆(402)的上表面固接有第二横板(407),所述竖杆(402)的上方外壁套接有弹簧(408),所述弹簧(408)的上下两侧分别与第二横板(407)的下表面和套筒(403)的上表面固定相连;
其中,所述套筒(403)的右侧安装有固定装置(5);所述固定装置(5)包括第三横板(501)、凹形板(502)、双向螺纹杆(503)、把手(504)、竖板(505)、方形块(506)、橡胶垫(507)和工件(508);所述第三横板(501)的左侧与套筒(403)的右侧固定相连,所述第三横板(501)的右侧固接有凹形板(502),所述凹形板(502)的前端面左侧内壁转动连接有双向螺纹杆(503),所述双向螺纹杆(503)的右侧贯穿凹形板(502)的前端面右侧内壁,所述双向螺纹杆(503)的右侧外壁与凹形板(502)的前端面右侧通孔处间隙配合,所述双向螺纹杆(503)的右侧固接有把手(504),所述双向螺纹杆(503)的螺纹处螺纹连接有多个竖板(505),左右所述竖板(505)的下表面固接有方形块(506),左右所述方形块(506)的内侧固接有橡胶垫(507),左右所述橡胶垫(507)的内侧安装有工件(508),所述工件(508)的左右两侧外壁与橡胶垫(507)的内侧相贴合;
其中,左右所述竖板(505)以双向螺纹杆(503)的中点为中心呈对称分布;所述凹形板(502)与第一横板(1)相互平行。
2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于:左右所述多个喷头(305)呈等距排列。
3.根据权利要求1所述的装置,其特征在于:所述竖杆(402)与第一横板(1)相互垂直。
4.根据权利要求1所述的装置,其特征在于:所述第一弧形块(401)与第二弧形块(404)的宽度尺寸一致。
5.一种基于权利要求1所述装置的半导体高精洗方法,其特征在于:当操作人员需要使用半导体高精洗装置时,首先操作人员拧动把手(504),通过把手(504)带动双向螺纹杆(503)进行转动,使双向螺纹杆(503)带动竖板(505)进行移动,竖板(505)带动方形块(506)进行移动,对工件(508)进行夹紧,接通电动推杆(405)的外接电源,启动电动推杆(405),通过电动推杆(405)带动第二弧形块(404)进行移动,第二弧形块(404)带动套筒(403)进行移动,使套筒(403)带动第三横板(501)进行移动,第三横板(501)带动凹形板(502)进行移动,将工件(508)带到适当位置,这样就达到了防止人工用手清洗出现化学液飞溅而受伤的目的,接通水泵(301)的外接电源,启动水泵(301),使水泵(301)通过第一水管(302)将箱体(2)中的化学液吸入,在将化学液排入第二水管(303)中,第二水管(303)通过喷头(305)将化学液喷出,这样便达到了自动清洗的目的。
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