[发明专利]一种半导体高精洗装置有效

专利信息
申请号: 202010018714.0 申请日: 2020-01-08
公开(公告)号: CN111112216B 公开(公告)日: 2020-10-02
发明(设计)人: 吴果;丁玉清;刘展波;李辉;张欣欣;熊盼龙 申请(专利权)人: 深圳市鑫承诺环保产业股份有限公司
主分类号: B08B3/08 分类号: B08B3/08;B08B3/04;B08B13/00;F26B21/00;H01L21/67;H01L21/02
代理公司: 深圳知帮办专利代理有限公司 44682 代理人: 谭慧
地址: 518000 广东省深圳市宝*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 半导体 高精洗 装置
【权利要求书】:

1.一种半导体高精洗装置,包括基座(1),所述基座(1)一侧的下表面固定连接有支撑架(17),且基座(1)的前表面固定连接有检视窗(11),其特征在于:所述基座(1)上表面的一端固定连接有固定架(2),且基座(1)上表面靠近固定架(2)的下侧固定连接有精洗箱(8),所述基座(1)上表面靠近精洗箱(8)的一侧固定连接有传送带(14),且基座(1)上表面靠近传送带(14)的外侧固定连接有风干箱(15),所述固定架(2)的上表面固定连接有驱动板(3),所述驱动板(3)的一侧固定连接有电机箱(4),且驱动板(3)的下表面滑动连接有移动板(5),所述移动板(5)下表面的两侧均固定连接有气缸(6),所述气缸(6)的底端通过机械手固定连接有放置盒(7),所述精洗箱(8)的前表面固定连接有第一风机(9),且精洗箱(8)前表面靠近第一风机(9)的一侧固定连接有连接管(10),所述基座(1)下表面靠近支撑架(17)的一侧固定连接有滑槽板(12),所述滑槽板(12)之间滑动连接有集水盒(13),所述风干箱(15)的前、后表面均固定连接有第二风机(16);

其中,所述电机箱(4)的内部固定连接有第一电机(18),所述驱动板(3)的内部转动连接有螺旋杆(19),且驱动板(3)内部靠近螺旋杆(19)的下侧固定连接有滑动杆(20),所述移动板(5)包括连接板(21),所述连接板(21)贯穿驱动板(3),且连接板(21)套设在螺旋杆(19)和滑动杆(20)的外侧,所述连接板(21)与螺旋杆(19)螺纹连接,且连接板(21)与滑动杆(20)滑动连接;

其中,所述放置盒(7)的表面均匀开设有连通孔,且放置盒(7)的内部均匀固定连接有竖向的板状构件,板状构件之间粘附有连接网(25),所述连接网(25)设置有两层,且连接网(25)为一种丝网状的构件,所述放置盒(7)内部靠近连接网(25)的下侧均转动连接有转动杆(26);

其中,所述连接网(25)的内部均开设有贯通槽(28),所述转动杆(26)靠近贯通槽(28)下侧的外表面均固定连接有连接块(29),所述连接块(29)的外表面均固定连接有顶板(30),所述顶板(30)为一种拱形的构件,且顶板(30)的宽度小于贯通槽(28)的宽度;

其中,所述放置盒(7)的上表面固定连接有侧箱(71),所述侧箱(71)内部的顶端固定连接有第二电机(22),所述第二电机(22)的输出端固定连接有第一固定齿轮(23),所述转动杆(26)的一端固定连接有第二固定齿轮(27),所述第一固定齿轮(23)与第二固定齿轮(27)的外侧套设有同步带(24),且第一固定齿轮(23)和第二固定齿轮(27)均与同步带(24)啮合连接;

其中,所述精洗箱(8)的内部固定连接有隔板(31),所述精洗箱(8)被隔板(31)分隔成多个区域,所述多个区域由放置盒(7)的移动方向依次划分为皂化清洗箱(34)、碳氢清洗箱(35)和纯水清洗箱(36),所述皂化清洗箱(34)、碳氢清洗箱(35)和纯水清洗箱(36)的宽度均相等;

其中,所述第一风机(9)和连接管(10)的数量均与皂化清洗箱(34)、碳氢清洗箱(35)和纯水清洗箱(36)的总数量相同,所述皂化清洗箱(34)、碳氢清洗箱(35)和纯水清洗箱(36)的两侧内壁均固定连接有超声波清洗器(32),且所述皂化清洗箱(34)、碳氢清洗箱(35)和纯水清洗箱(36)内壁靠近超声波清洗器(32)的下侧均固定连接有第一均风板(33),所述第一均风板(33)与第一风机(9)的出气口连通,且第一均风板(33)的上表面均匀开设有出气口,所述第一均风板(33)出气口的位置均设置有防漏构件。

2.根据权利要求1所述的半导体高精洗装置,其特征在于:所述风干箱(15)的上表面固定连接有风机箱(37),所述风机箱(37)的上表面固定连接有固定管(38),且风机箱(37)的内部固定连接有第三风机(39),所述风机箱(37)的出气口与固定管(38)连通,且风机箱(37)的进气口与风干箱(15)连通。

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