[发明专利]一种湿法处理设备机械手臂安装骨架及其安装方法

说明书

本发明公开了一种湿法处理设备机械手臂安装骨架及其安装方法，所述安装骨架包括设备框架、安装立板、安装柱及安装螺栓，所述设备框架由中空的金属方钢焊接而成，所述金属方钢于安装柱的安装点位设置有安装孔，所述安装孔贯穿金属方钢相对的两个侧壁，所述安装柱设置于两个所述安装孔之间并与所述金属方钢固定，所述安装柱的一端沿其中轴线的长度方向贯穿设置有螺纹孔，所述安装立板上于对应的安装点位设置有固定孔，所述安装立板与所述设备框架对应安装时，所述固定孔与所述螺纹孔的轴线重合并通过安装螺栓固定。本发明将安装柱嵌入设备框架内，安装柱能够提供足够的强力与刚性，避免机械手臂在运动的过程中发生晃动。

技术领域

本发明属于湿法工艺设备技术领域，具体涉及一种湿法处理设备机械手臂安装骨架及其安装方法。

背景技术

半导体湿法工艺设备是通过特定的机械手臂装置，不断地在晶圆承载/卸载区域、清洗工艺区域、晶圆干燥区域进行高速的移动，而对应于机械手臂的配置需要有效地安装在湿法处理设备的骨架上，进行相关模组的配置。传统的安装工艺，湿法设备上的机械手臂在水平运动、垂直升降运动、夹取晶圆盒/片的动作过程及高速移动的过程中，互相交错的动作可能存在潜在性的设备变形危险及装置错位偏移的可能性问题。

发明内容

针对现有技术中存在的问题，本发明提供一种湿法处理设备机械手臂安装骨架，本发明能够机械手臂提供足够的强力与刚性支持，避免安装板与设备骨架直接安装导致的相位错位问题。此外，本发明还要提供一种湿法处理设备机械手臂安装骨架的安装方法。

为实现上述目的，本发明采用以下技术方案：

本发明的第一方面，提供一种湿法处理设备机械手臂安装骨架，包括设备框架、安装立板、安装柱及安装螺栓，所述设备框架由中空的金属方钢焊接而成，所述金属方钢于安装柱的安装点位设置有安装孔，所述安装孔贯穿金属方钢相对的两个侧壁，所述安装柱设置于两个所述安装孔之间并与所述金属方钢固定，所述安装柱的一端沿其轴线的长度方向设置有螺纹孔，所述安装立板上于对应的安装点位设置有固定孔，所述安装立板与所述设备框架对应安装时，所述固定孔与所述螺纹孔的轴线重合并通过安装螺栓固定。

作为优选的技术方案，所述安装柱由轴线重合的外柱体和内柱体组成，所述内柱体由所述外柱体的两端向外延伸出，所述内柱体的直径小于所述外柱体的直径，所述外柱体的两端沿圆周方向设置有槽键沟，所述槽键沟为圆弧形，其内径等于所述内柱体的直径；所述安装孔包括前端安装孔与后端安装孔，所述前端安装孔的直径等于所述内柱体的直径，所述后端安装孔的直径等于所述外柱体的直径，所述前端安装孔、所述后端安装孔于边缘处设置有卡合块，所述卡合块为圆弧形，所述卡合块的内径等于所述内柱体的直径，所述卡合块的弧长小于所述槽键沟的弧长；所述前端安装孔处内柱体的端部与所述设备框架的表面齐平，所述后端安装孔处卡合块与所述槽键沟之间形成卡合间隙，所述卡合间隙处设置有封堵限位机构，所述封堵限位机构包括一体连接的封堵环及限位块，所述封堵环的内径等于所述内柱体的直径，外径等于所述外柱体的直径，所述限位块与所述卡合间隙相契合，所述封堵环与所述设备框架焊接连接。

作为优选的技术方案，所述槽键沟、所述卡合块均设置为2个，所述槽键沟沿所述外柱体的轴线对称设置。

作为优选的技术方案，所述卡合块的厚度等于所述槽键沟的深度。

作为优选的技术方案，所述槽键沟、所述卡合块的两侧端面均为倾斜面。

作为优选的技术方案，所述固定孔为阶梯状孔，所述阶梯状孔的小孔直径等于所述螺纹孔的直径，大孔直径大于所述安装螺栓的头部直径。

作为优选的技术方案，所述安装立板上均匀分布有应力分散孔。

作为优选的技术方案，所述设备框架上沿水平方向并列设置有复数个安装立板，每个安装立板上设置有2行3列所述固定孔。