[发明专利]一种湿法处理设备机械手臂安装骨架及其安装方法有效

专利信息
申请号: 202010017630.5 申请日: 2020-01-08
公开(公告)号: CN111188817B 公开(公告)日: 2021-11-05
发明(设计)人: 邓信甫;李志峰;蔡嘉雄;王雪松;陈佳炜 申请(专利权)人: 江苏启微半导体设备有限公司
主分类号: B25J19/00 分类号: B25J19/00;F16B1/02;B25J11/00
代理公司: 上海智力专利商标事务所(普通合伙) 31105 代理人: 杜冰云
地址: 226299 江苏省南*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 湿法 处理 设备 机械 手臂 安装 骨架 及其 方法
【权利要求书】:

1.一种湿法处理设备机械手臂安装骨架,其特征在于,包括设备框架、安装立板、安装柱及安装螺栓,所述设备框架由中空的金属方钢焊接而成,所述金属方钢于安装柱的安装点位设置有安装孔,所述安装孔贯穿金属方钢相对的两个侧壁,所述安装柱设置于两个所述安装孔之间并与所述金属方钢固定,所述安装柱沿其中轴线的长度方向贯穿设置有螺纹孔,所述安装立板上于对应的安装点位设置有固定孔,所述安装立板与所述设备框架对应安装时,所述固定孔与所述螺纹孔的轴线重合并通过安装螺栓固定;

所述安装柱由轴线重合的外柱体和内柱体组成,所述内柱体由所述外柱体的两端向外延伸出,所述内柱体的直径小于所述外柱体的直径,所述外柱体的两端沿圆周方向设置有槽键沟,所述槽键沟为圆弧形,其内径等于所述内柱体的直径;所述安装孔包括前端安装孔与后端安装孔,所述前端安装孔的直径等于所述内柱体的直径,所述后端安装孔的直径等于所述外柱体的直径,所述前端安装孔、所述后端安装孔于边缘处设置有卡合块,所述卡合块为圆弧形,所述卡合块的内径等于所述内柱体的直径,所述卡合块的弧长小于所述槽键沟的弧长;所述前端安装孔处内柱体的端部与所述设备框架的表面齐平,所述后端安装孔处卡合块与所述槽键沟之间形成卡合间隙,所述卡合间隙处设置有封堵限位机构,所述封堵限位机构包括一体连接的封堵环及限位块,所述封堵环的内径等于所述内柱体的直径,外径等于所述外柱体的直径,所述限位块与所述卡合间隙相契合,所述封堵环与所述设备框架焊接连接。

2.如权利要求1所述的一种湿法处理设备机械手臂安装骨架,其特征在于,所述槽键沟、所述卡合块均设置为2个,所述槽键沟沿所述外柱体的轴线对称设置。

3.如权利要求1所述的一种湿法处理设备机械手臂安装骨架,其特征在于,所述卡合块的厚度等于所述槽键沟的深度。

4.如权利要求1所述的一种湿法处理设备机械手臂安装骨架,其特征在于,所述槽键沟、所述卡合块的两侧端面均为倾斜面。

5.如权利要求1所述的一种湿法处理设备机械手臂安装骨架,其特征在于,所述固定孔为阶梯状孔,所述阶梯状孔的小孔直径等于所述螺纹孔的直径,大孔直径大于所述安装螺栓的头部直径。

6.如权利要求1所述的一种湿法处理设备机械手臂安装骨架,其特征在于,所述安装立板上均匀分布有应力分散孔。

7.如权利要求1所述的一种湿法处理设备机械手臂安装骨架,其特征在于,所述设备框架上沿水平方向并列设置有复数个安装立板,每个安装立板上设置有2行3列所述固定孔。

8.一种湿法处理设备机械手臂安装骨架的安装方法,用于制作权利要求1-7任一项所述的湿法处理设备机械手臂安装骨架,其特征在于,包括以下步骤:

步骤一、制作安装柱;

步骤二、在设备框架的金属方钢成型前,预先在金属方钢上需要固定安装柱两个相对的侧壁上开设安装孔;

步骤三、将安装柱与安装孔对应安装并与金属方钢固定连接后,通过各个侧壁依次焊接形成完整的金属方钢;

步骤四、在安装立板上于对应安装位置开设固定孔;

步骤五、通过安装螺栓将固定孔与螺纹孔固定。

9.如权利要求8所述的一种湿法处理设备机械手臂安装骨架的安装方法,其特征在于,所述步骤四中,在安装立板上开设固定孔时,同时开设应力分散孔,固定孔的边缘对称开设有应力分散孔。

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