[发明专利]晶圆检测方法、装置和设备

权利要求书

1.一种晶圆检测方法，其特征在于，包括：

获取待检测晶圆的图像；

将所述待检测晶圆的图像划分为N个不同的待检测区域，所述N为大于等于2的整数；

将每个待检测区域与标准晶圆的图像中的对应区域进行比较，所述标准晶圆的图像包括N个区域，所述标准晶圆的图像中每个区域与每个待检测区域一一对应，所述待检测区域在所述待检测晶圆中的位置与对应区域在所述标准晶圆中的位置相同；其中，所述标准晶圆为与所述待检测晶圆通过同一生产线制造的合格晶圆；

若所述每个待检测区域与所述标准晶圆的图像中的对应区域的差异在预设范围内，则确定所述待检测晶圆为合格晶圆。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述将所述待检测晶圆的图像划分为N个不同的区域，包括：

将所述待检测晶圆划分为一个圆形待检测区域和至少一个圆环待检测区域，其中，所述圆形待检测区域与所述至少一个圆环待检测区域共圆心，所述圆心为所述待检测晶圆的圆心。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述圆形待检测区域的半径大于所述圆环待检测区域的环宽。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述将每个待检测区域与标准晶圆的图像中的对应区域进行比较，包括：

获取所述待检测区域的红色信号分量、绿色信号分量、蓝色信号分量以及混合灰度信号分量；

将所述待检测区域的红色信号分量、绿色信号分量、蓝色信号分量以及混合灰度信号分量分别与所述标准晶圆的图像中的对应区域的红色信号分量标准范围、绿色信号分量标准范围、蓝色信号分量标准范围以及混合灰度分量标准范围进行对比；

若待检测区域的红色信号分量、绿色信号分量、蓝色信号分量以及混合灰度信号分量全部落入对应的标准范围，则确定所述待检测区域与所述标准晶圆的对应区域的差异在预设范围内。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述获取所述待检测区域的红色信号分量、绿色信号分量、蓝色信号分量以及混合灰度信号分量，包括：

获取待检测区域中所有像素的红色信号分量的平均值为所述待检测区域的红色信号分量；

获取待检测区域中所有像素的绿色信号分量的平均值为所述待检测区域的绿色信号分量；

获取待检测区域中所有像素的蓝色信号分量的平均值为所述待检测区域的蓝色信号分量；

根据所述待检测区域的红色信号分量、绿色信号分量以及蓝色信号分量，获取所述待检测区域的混合灰度信号分量。

6.根据权利要求4或5所述的方法，其特征在于，还包括：

获取所述标准晶圆中每个区域的红色信号分量和红色信号分量对应的标准差，并根据每个区域的红色信号分量和红色信号分量对应的标准差，获得每个区域的红色信号分量标准范围；

获取所述标准晶圆中每个区域的绿色信号分量和绿色信号分量对应的标准差，并根据每个区域的绿色信号分量和绿色信号分量对应的标准差，获得每个区域的绿色信号分量标准范围；

获取所述标准晶圆中每个区域的蓝色信号分量和蓝色信号分量对应的标准差，并根据每个区域的蓝色信号分量和蓝色信号分量对应的标准差，获得每个区域的蓝色信号分量标准范围；

获取所述标准晶圆中每个区域的混合灰度信号分量和混合灰度色信号分量对应的标准差，并根据每个区域的混合灰度色信号分量和混合灰度色信号分量对应的标准差，获得每个区域的混合灰度色信号分量标准范围。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：

若至少一个待检测区域与所述标准晶圆的对应区域的差异不在预设范围内，则确定所述待检测晶圆为不合格晶圆；

输出报警信息。