[发明专利]卡盘顶、检查装置以及卡盘顶的回收方法

权利要求书

1.一种卡盘顶，在对形成于晶圆的多个被检查器件进行检查的检查装置中，该卡盘顶保持所述晶圆，并且在检查时保持于框架且设为相对于对准器能够接近远离，其中，

该卡盘顶具备：

主体；以及

防掉落机构，其设于所述主体，该防掉落机构具有在所述卡盘顶自所述框架脱离时防止所述卡盘顶掉落的可动式的防掉落钩。

2.根据权利要求1所述的卡盘顶，其中，

所述防掉落钩能够在防止所述卡盘顶掉落的防掉落位置与解除防掉落功能的防掉落解除位置之间旋转。

3.根据权利要求1或2所述的卡盘顶，其中，

在所述主体的端部设有多个所述防掉落机构。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的卡盘顶，其中，

所述防掉落钩设为能够在垂直面内旋转。

5.一种检查装置，其中，

该检查装置具备：

测试器，其对晶圆上的多个器件施加电信号，而检测所述多个器件；

探针卡，其具有与所述晶圆上的多个所述器件的电极接触且与所述测试器连接的探针；

卡盘顶，其保持晶圆；

框架，其在利用所述测试器进行检查时保持所述卡盘顶；以及

对准器，其设为相对于所述卡盘顶能够接近远离，对保持于所述卡盘顶的晶圆进行相对于所述探针卡的对位，

所述卡盘顶包括：

主体；以及

防掉落机构，其设于所述主体，该防掉落机构具有在所述卡盘顶自所述框架脱离时防止所述卡盘顶掉落的可动式的防掉落钩。

6.根据权利要求5所述的检查装置，其中，

所述防掉落钩能够在防止所述卡盘顶掉落的防掉落位置与解除防掉落功能的防掉落解除位置之间旋转。

7.根据权利要求5或6所述的检查装置，其中，

在所述主体的端部设有多个所述防掉落机构。

8.根据权利要求5～7中任一项所述的检查装置，其中，

所述防掉落钩设为能够在垂直面内旋转。

9.根据权利要求5～8中任一项所述的检查装置，其中，

所述对准器具有解除机构，在所述对准器与所述卡盘顶连接时，该解除机构将所述防掉落钩从所述防掉落位置向所述防掉落解除位置切换。

10.根据权利要求9所述的检查装置，其中，

所述解除机构具有缸和设为能够自所述缸突出的解除构件，通过使所述解除构件突出，从而使所述防掉落钩自所述防掉落位置向所述防掉落解除位置旋转。

11.根据权利要求9或10所述的检查装置，其中，

所述防掉落机构具有弹簧，在利用所述解除机构使所述防掉落钩旋转到所述防掉落解除位置之后，且在停止了所述解除机构的解除动作时，该弹簧对所述防掉落钩向所述防掉落位置施力。

12.一种卡盘顶的回收方法，在对形成于晶圆的多个被检查器件进行检查的检查装置中，该卡盘顶在检查时保持于框架且设为相对于对准器能够接近远离，其中，

所述卡盘顶具有：主体；以及防掉落机构，其设于所述主体，该防掉落机构具有在所述卡盘顶自所述框架脱离时防止所述卡盘顶掉落的可动式的防掉落钩，所述防掉落钩能够在防止所述卡盘顶掉落的防掉落位置与解除防掉落功能的防掉落解除位置之间旋转，

该卡盘顶的回收方法具有以下步骤：

在所述卡盘顶自所述框架脱离时，所述防掉落钩位于防掉落位置且卡定于所述框架；

使所述对准器位于所述卡盘顶的下方；

使所述对准器上升，而使所述卡盘顶保持于所述对准器；

利用设于所述对准器的解除机构使所述防掉落钩自所述防掉落位置向所述防掉落解除位置移动；以及

使保持有所述卡盘顶的所述对准器下降而回收所述卡盘顶。