[发明专利]带电粒子束装置

说明书

一种带电粒子束装置(100)具有：照射部(110)，其对试样(S)照射带电粒子束；粒子检测部(130)，其对向试样(S)照射带电粒子束引起的粒子进行检测；以及控制部(151)，其根据来自粒子检测部(130)的输出来生成试样(S)的图像，控制部(151)向用于检测第一构造(401)以及第二构造(402)的模型(M1)以及(M2)输入试样(S)的图像，从模型(M1)以及(M2)取得与第一构造(401)相关的第一检测结果以及与第二构造(402)相关的第二检测结果，根据第一检测结果以及第二检测结果来决定第一构造(401)以及第二构造(402)的位置或区域，输出表示第一构造(401)的位置或区域以及第二构造(402)的位置或区域的综合结果图像(203)。

技术领域

本发明涉及带电粒子束装置。

背景技术

为了进行试样中的关注对象物的检测和/或评价，使用带电粒子束装置。带电粒子束装置向试样照射带电粒子束，利用由照射引起的信号来进行关注对象物的检测和/或评价。在专利文献1中公开了这样的带电粒子束装置的例子。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2019-60741号公报

发明内容

发明要解决的课题

然而，在现有技术中，虽然对检测某个特定的构造是有效的，但存在难以进行不同种类的构造混合存在的情况下的处理的课题。例如，为了检测某个形状的粒子而学习到的已学习模型有时不适合检测混合存在的其他形状的粒子、非粒子的异物等。

本发明是为了解决这样的课题而完成的，其目的在于提供一种能够适当地检测出不同种类的构造的带电粒子束装置。

用于解决课题的手段

本发明的带电粒子束装置的一例具有：

照射部，其对试样照射带电粒子束；

粒子检测部，其对向所述试样照射所述带电粒子束引起的粒子进行检测；

图像生成部，其根据来自所述粒子检测部的输出生成所述试样的图像；以及

构造检测部，

所述构造检测部进行如下处理：

向用于检测第一构造的第一已学习模型输入所述试样的图像；

向用于检测第二构造的第二已学习模型输入所述试样的图像；

从所述第一已学习模型取得与所述第一构造相关的第一检测结果；

从所述第二已学习模型取得与所述第二构造相关的第二检测结果；

根据所述第一检测结果决定所述第一构造的位置或区域；

根据所述第二检测结果决定所述第二构造的位置或区域；以及

输出表示所述第一构造的位置或区域和所述第二构造的位置或区域的综合结果信息。

发明效果

本发明的带电粒子束装置通过利用多个已学习模型，能够分别检测出对应的多种构造。

附图说明

图1是概略性地表示本发明的实施方式1的带电粒子束装置的主视图。

图2是显示于显示部的、表示综合结果图像的例子的GUI的例子。

图3是显示于显示部的、用于选择已学习模型的GUI的例子。

图4是对各已学习模型的处理进行说明的图。

图5是在各构造中使用了不同颜色的综合结果图像的例子。