[发明专利]带电粒子束装置

权利要求书

1.一种带电粒子束装置，其特征在于，具有：

照射部，其对试样照射带电粒子束；

粒子检测部，其对向所述试样照射所述带电粒子束引起的粒子进行检测；

图像生成部，其根据来自所述粒子检测部的输出生成所述试样的图像；以及

构造检测部，

所述构造检测部进行如下处理：

向用于检测第一构造的第一已学习模型输入所述试样的图像；

向用于检测第二构造的第二已学习模型输入所述试样的图像；

从所述第一已学习模型取得与所述第一构造相关的第一检测结果；

从所述第二已学习模型取得与所述第二构造相关的第二检测结果；

根据所述第一检测结果决定所述第一构造的位置或区域；

根据所述第二检测结果决定所述第二构造的位置或区域；以及

输出表示所述第一构造的位置或区域和所述第二构造的位置或区域的综合结果信息。

2.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

在所述试样的图像中，通过示出所述第一构造的位置或区域和所述第二构造的位置或区域的综合结果图像来表示所述综合结果信息，

在所述试样的图像中，所述构造检测部通过在所述第一构造的位置或区域显示第一表现，在所述第二构造的位置或区域显示第二表现，由此生成所述综合结果图像。

3.根据权利要求2所述的带电粒子束装置，其特征在于，

所述第一表现通过第一颜色来实现，

所述第二表现通过第二颜色来实现。

4.根据权利要求2所述的带电粒子束装置，其特征在于，

所述构造检测部进行如下处理：

向用于检测第三构造的第三已学习模型输入所述试样的图像；

从所述第三已学习模型取得与所述第三构造相关的第三检测结果；以及

根据所述第三检测结果决定所述第三构造的位置或区域，

在所述试样的图像中，通过进一步在所述第三构造的位置或区域显示所述第一表现或所述第二表现来生成所述综合结果图像。

5.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

所述构造检测部进行如下处理：

根据所述试样的图像以及所述第一检测结果，通过图像处理来决定所述第一构造的位置或区域；以及

根据所述试样的图像以及所述第二检测结果，通过图像处理来决定所述第二构造的位置或区域。

6.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

所述带电粒子束装置针对所述第一构造的位置或区域或者所述第二构造的位置或区域所对应的区域进行所述试样的解析。

7.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

在所述第一构造的位置或区域和所述第二构造的位置或区域重叠的情况下，所述构造检测部根据该第一构造以及该第二构造执行重叠时校正处理。

8.根据权利要求7所述的带电粒子束装置，其特征在于，

所述重叠时校正处理包括根据位置或区域重叠的所述第一构造和所述第二构造来决定第四构造的位置或区域的处理，

所述综合结果信息还表示所述第四构造的位置或区域。

9.根据权利要求7所述的带电粒子束装置，其特征在于，

所述重叠时校正处理包括如下处理：针对位置或区域重叠的所述第一构造和所述第二构造，不将该第一构造的位置或区域或者该第二构造的位置或区域包含在所述综合结果信息中。

10.根据权利要求7所述的带电粒子束装置，其特征在于，

所述重叠时校正处理包括如下处理：针对位置或区域重叠的所述第一构造和所述第二构造，输出表示这些位置或区域重叠的信息。