[发明专利]磁悬浮系统、用于磁悬浮系统的载体和操作磁悬浮系统的方法在审

专利信息
申请号: 201980093452.X 申请日: 2019-03-01
公开(公告)号: CN113574650A 公开(公告)日: 2021-10-29
发明(设计)人: 亚历山大·森多布里;乔格·舒勒;马丁·恩斯特;克里斯蒂安·沃尔夫冈·埃曼;布里塔·斯帕 申请(专利权)人: 应用材料公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;F16F7/104
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人: 徐金国;赵静
地址: 美国加利*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 磁悬浮 系统 用于 载体 操作 方法
【权利要求书】:

1.一种磁悬浮系统(100),包括

基部结构(110);

载体(120),所述载体在运输方向(T)上相对于所述基部结构(110)可移动;和

至少一个主动磁轴承(112),所述至少一个主动磁轴承被构造成产生作用在保持方向(V)上的磁保持力,以用于将所述载体(120)保持在所述基部结构(110)处,

其中所述载体和所述基部结构中的至少一个包括多个阻尼单元(130),所述多个阻尼单元中的第一阻尼单元(131)被调谐到第一频率或第一频率范围,并且所述多个阻尼单元中的第二阻尼单元(132)被调谐到第二频率或第二频率范围。

2.如权利要求1所述的磁悬浮系统,其中所述第一阻尼单元(131)和所述第二阻尼单元(132)被调谐到所述载体(120)的不同固有频率、特别是在50Hz与250Hz之间的频率范围内的不同固有频率。

3.如权利要求1或2所述的磁悬浮系统,其中所述第一阻尼单元(131)和所述第二阻尼单元(132)被取向成阻尼在所述保持方向(V)上的振动。

4.如权利要求1至3中任一项所述的磁悬浮系统,其中所述多个阻尼单元(130)包括三个或更多个阻尼单元、特别是八个或更多个阻尼单元,所述多个阻尼单元(130)被调谐到三个或更多个不同频率、特别是八个或更多个不同频率。

5.如权利要求4所述的磁悬浮系统,其中所述多个阻尼单元(130)包括八个或更多个阻尼单元,所述八个或更多个阻尼单元被调谐到在从65Hz至200Hz的频率范围内的八个或更多个不同频率,特别地其中所述8个或更多个不同频率分布在从65Hz至200Hz的所述频率范围内。

6.如权利要求1至5中任一项所述的磁悬浮系统,其中所述载体(120)包括被构造成与所述至少一个主动磁轴承(112)相互作用的头部部分(121),其中所述多个阻尼单元(130)中的三个或更多个阻尼单元以线性阵列布置在所述头部部分(121)处。

7.如权利要求1至6中任一项所述的磁悬浮系统,其中所述多个阻尼单元(130)包括在所述运输方向(T)上布置在所述载体(120)的中心部分中的至少一个中心阻尼单元(133)和布置在所述载体(120)的前部部分或后部部分中的至少一个边缘阻尼单元(134),其中所述边缘阻尼单元(134)被调谐到比所述中心阻尼单元(133)高的频率。

8.如权利要求1至7中任一项所述的磁悬浮系统,其中所述载体(120)包括多个隔室(125),每个隔室容纳所述多个阻尼单元(130)中被调谐到不同频率的两个或更多个阻尼单元。

9.如权利要求1至8中任一项所述的磁悬浮系统,其中所述多个阻尼单元(130)是被动阻尼单元、特别是吸振器、更特别地是安装在所述载体(120)和/或所述基部结构处的调谐的质量阻尼器(135)。

10.如权利要求1至9中任一项所述的磁悬浮系统,其中所述多个阻尼单元(130)分别包括:

-阻尼块(145);

-至少一个弹簧元件(141),所述至少一个弹簧元件将所述阻尼块(145)可移动地连接至所述载体(120)或所述基部结构;和

-阻尼机构(142),所述阻尼机构用于阻尼所述阻尼块(145)的振动。

11.如权利要求10所述的磁悬浮系统,其中所述阻尼机构包括被构造成在导体元件中感生电流的磁体元件。

12.如权利要求1至11中任一项所述的磁悬浮系统,其中所述多个阻尼单元(130)包括被调谐到以下项中的至少一个的至少一个阻尼单元:

所述载体的基本固有频率;和

在5Hz与30Hz之间的范围内的频率。

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