[发明专利]弹性引导装置、定位装置、叶片和光刻设备

权利要求书

1.一种弹性引导装置，所述弹性引导装置用于相对于基部沿支撑方向支撑质量体，所述弹性引导装置包括：

在第一平面中延伸的第一叶片，和

在第二平面中延伸的第二叶片，

其中所述第一平面和所述第二平面两者都沿所述支撑方向延伸，

其中所述第一叶片的第一侧被连接至所述基部，并且所述第一叶片的与所述第一叶片的所述第一侧相反的第二侧被连接至所述第二叶片的第一侧，并且其中所述第二叶片的与所述第二叶片的所述第一侧相反的第二侧被连接至所述质量体，

其中所述第一叶片包括至少一个刚性元件和至少一个板簧元件，其中所述至少一个板簧元件沿所述支撑方向在所述第一叶片的整个长度上延伸，并且其中所述第二叶片包括至少一个刚性元件和至少一个板簧元件，其中所述至少一个板簧元件沿所述支撑方向在所述第二叶片的整个长度上延伸，

其中所述第一叶片的所述第二侧通过交叉挠曲部被连接至所述第二叶片的所述第一侧。

2.根据权利要求1所述的弹性引导装置，其中，所述交叉挠曲部包括被布置在所述第一叶片中的第一板簧元件和第二板簧元件、以及位于所述第二叶片中的第三板簧元件，其中沿所述支撑方向观察时，所述第三板簧元件被布置在所述第一板簧元件与所述第二板簧元件之间。

3.根据权利要求1或2所述的弹性引导装置，其中所述第一平面和所述第二平面相对于彼此大致垂直。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的弹性引导装置，其中所述支撑方向是竖直方向。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的弹性引导装置，其中所述弹性引导装置包括至少一个扭转加强元件，所述至少一个扭转加强元件与所述板簧元件中的一个板簧元件相关联，并且被布置成至少部分地防止相应的板簧元件的扭转。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的弹性引导装置，其中所述板簧元件包括沿所述支撑方向的底端和顶端，其中所述底端和顶端中的至少一个包括倒圆的凹部，用于分别减小所述板簧元件的在所述底端和顶端处的材料中的应力峰值。

7.一种弹性引导装置，所述弹性引导装置用于相对于基部沿支撑方向支撑质量体，所述弹性引导装置包括：

在第一平面中延伸的第一叶片，和

在第二平面中延伸的第二叶片，

其中所述第一平面和所述第二平面两者都沿所述支撑方向延伸，

其中所述第一叶片的第一侧被连接至所述基部，并且所述第一叶片的与所述第一叶片的所述第一侧相反的第二侧被连接至所述第二叶片的第一侧，并且其中所述第二叶片的与所述第二叶片的所述第一侧相反的第二侧被连接至所述质量体，

其中所述第一叶片和所述第二叶片中的至少一个叶片包括第一刚性元件和第二刚性元件、以及至少两个平行的板簧元件，所述第一刚性元件和所述第二刚性元件两者分别沿支撑方向在所述第一叶片和/或第二叶片的整个长度上延伸，并且每个板簧元件都在所述第一刚性元件与所述第二刚性元件之间延伸。

8.根据权利要求7所述的弹性引导装置，其中所述第一叶片包括所述第一刚性元件和所述第二刚性元件和至少两个第一板簧元件，所述第一刚性元件和所述第二刚性元件两者都沿支撑方向在所述第一叶片的整个长度上延伸，并且每个第一板簧元件都在所述第一刚性元件与所述第二刚性元件之间延伸，并且其中所述第二叶片包括第三刚性元件和第四刚性元件和至少两个第二板簧元件，所述第三刚性元件和所述第四刚性元件两者都沿支撑方向在所述第二叶片的整个长度上延伸，并且每个第二板簧元件都在所述第三刚性元件与所述第四刚性元件之间延伸。

9.根据权利要求7或8所述的弹性引导装置，其中所述第一叶片的所述第二侧通过沿所述支撑方向延伸的凹口挠曲部被连接至所述第二叶片的所述第一侧。

10.根据权利要求7至9中任一项所述的弹性引导装置，其中所述第一平面和所述第二平面相对于彼此大致垂直。