[发明专利]用于对型坯进行光学检查的装置

权利要求书

1.一种用于对型坯(2)进行光学检查的装置(1)，其包括：

-发光器(3)，其包括被构造为发出指向位于检查位置(10)处的所述型坯(2)的光束的光源(31)；

-探测器(4)，其包括被构造为捕获位于所述检查位置(10)处的所述型坯(2)的图像(20)的摄像机(41)，其中所述型坯(2)在所述检查位置(10)处操作性地介于所述发光器(3)与所述探测器(4)之间，

其特征在于，所述发光器(3)包括发射偏振滤光器(32)，其被构造为拦截所述光源(31)发出的所述光束并且产生偏振光束，并且其中所述探测器(4)包括接收偏振滤光器(42)，其被构造为接收所述偏振光束，使得所述型坯(2)在所述检查位置(10)处操作性地介于所述发射偏振滤光器(32)与所述接收偏振滤光器(42)之间。

2.根据权利要求1所述的装置(1)，其还包括处理单元，所述处理单元包括：

存储器(5)，其包含有参考数据集(51，52)；

处理器(6)，其被编程为基于所述参考数据集(51，52)来处理所述探测器(4)捕获的所述图像(20)，从而得出与所述型坯(2)的缺陷有关的诊断指示(23)。

3.根据权利要求2所述的装置(1)，其中，所述处理单元被构造为：

-基于所述参考数据集(51，52)来处理所述探测器(4)捕获的所述图像(20)，从而从所述图像(20)中得出多个图像特征(21)的值；

-处理所述多个图像特征(21)的值，以得出与所述型坯(2)的所述缺陷有关的所述诊断指示(23)。

4.根据权利要求3所述的装置(1)，其中，所述处理单元被构造为：

-生成通过所述多个图像特征(21)的值并且基于所述参考数据集(51，52)重建的图像(22)；

-通过将所述探测器(4)捕获的所述图像(20)与所述重建图像(22)进行比较来得出与所述型坯(2)的缺陷有关的诊断指示(23)。

5.根据权利要求4所述的装置(1)，其包括自学习系统(7)，所述自学习系统被构造为：

-接收所述探测器(4)针对对应的多个所述型坯(2)捕获的多个所述图像(20)作为输入；

-基于所述参考数据集(51，52)来处理所述探测器(4)捕获的多个图像(20)中的每个图像(20)，从而针对每个图像(20)得出所述多个图像特征(21)的基于预定标准的对应值；

-基于所述参考数据集(51，52)使用针对所述多个图像特征(21)得出的对应值来针对多个图像(20)中的每个图像(20)生成对应的重建图像(22)；

-将所述探测器(4)捕获的多个图像(20)中的每个图像(20)与所述对应的重建图像(22)进行比较，从而针对多个图像(20)中的每个图像(20)得出表示所述探测器(4)捕获的图像(20)与所述对应的重建图像(22)之间的相似性的对应的相似参数(24)；

-针对多个图像(20)中的每个图像(20)基于所述相似参数(24)和用于所述相似参数(24)的预定阈值(72)来更新所述参考数据集(51，52)。

6.根据权利要求5所述的装置(1)，其中，所述自学习系统(7)被构造为基于所述相似参数(24)和所述预定阈值(72)来更新所述多个图像特征(21)。

7.根据权利要求5或6所述的装置(1)，其中，所述预定标准包括针对所述多个图像特征(21)的最大数量的图像特征(21)。

8.根据权利要求5-7中任一项所述的装置(1)，其中，所述自学习系统(7)包括卷积神经网络。

9.根据前述任一项权利要求所述的装置(1)，其中，所述发射偏振滤光器(32)是线性滤光器，其被构造为使光在第一偏振方向上偏振。

10.根据前述任一项权利要求所述的装置(1)，其中，所述接收偏振滤光器(42)是线性滤光器，其被构造为使光在第二偏振方向上偏振。