[发明专利]安装相关装置及导轨装置

权利要求书

1.一种安装相关装置，使用XY机器人对处理对象物进行预定处理，所述XY机器人具备对具有安装面的所述处理对象物进行预定处理的处理头和使该处理头在预定的平面方向上移动的移动部，

所述安装相关装置具备：

第一搬运部，向导入位置搬入所述处理对象物；

第二搬运部，从排出位置搬出所述处理对象物；

多关节机器人，配置于在所述处理头的移动区域的下方且所述第一搬运部与所述第二搬运部之间形成的可动空间，并以能够变更所述安装面的姿势的方式保持所述处理对象物，并且使所述处理对象物在所述导入位置与所述排出位置之间移动；及

控制部，控制所述XY机器人和所述多关节机器人，

所述第一搬运部及所述第二搬运部具备能够装配一对导轨装置且能够解除装配的导轨装配部，所述一对导轨装置在该第一搬运部和该第二搬运部对能够搬运的作为所述处理对象物的基板进行搬运时被架设于所述第一搬运部与所述第二搬运部之间而使所述基板移动。

2.根据权利要求1所述的安装相关装置，其中，

所述多关节机器人具备能够装配支撑部件且能够解除装配的支撑用装配部，所述支撑部件在所述导轨装置被装配于所述导轨装配部而对所述基板进行处理时从下方支撑该基板。

3.根据权利要求2所述的安装相关装置，其中，

所述控制部控制所述第一搬运部、所述第二搬运部及所述多关节机器人，以使在所述导轨装置被装配于所述导轨装配部且所述支撑部件被装配于所述多关节机器人时，将所述基板向所述导轨装置上搬运、固定，并利用所述支撑部件将所述基板从下方支撑于所述多关节机器人。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的安装相关装置，其中，

所述导轨装置具备连接部，所述连接部通过与所述第一搬运部的搬运部件及/或所述第二搬运部的搬运部件物理接触而获得所述基板的搬运力，

所述控制部通过对所述第一搬运部及/或所述第二搬运部进行驱动控制来搬运所述导轨装置上的所述基板。

5.根据权利要求1～3中任一项所述的安装相关装置，其中，

所述导轨装置具备施加搬运所述基板的搬运力的驱动部，

所述控制部与所述驱动部电连接，且还控制所述驱动部，以搬运所述导轨装置上的所述基板。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的安装相关装置，其中，

所述导轨装置具备把持并固定所述基板的固定部，

所述控制部还控制所述固定部，以固定所述导轨装置上的所述基板。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的安装相关装置，其中，

所述多关节机器人具备能够装配接触部件且能够解除装配的接触部件装配部，所述接触部件在所述导轨装置被装配于所述导轨装配部而对所述基板进行处理时与该基板的一部分接触，

所述控制部使所述基板和所述接触部件接触，并利用该多关节机器人的动作使所述基板沿着所述导轨装置在所述导入位置与所述排出位置之间移动。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的安装相关装置，其中，

所述安装相关装置具备一对导轨装置，所述一对导轨装置被装配于所述导轨装配部，并在所述第一搬运部和所述第二搬运部对作为所述处理对象物的基板进行搬运时被架设于所述第一搬运部与所述第二搬运部之间而使该基板移动。

9.一种导轨装置，用于安装相关装置，所述安装相关装置具备：

XY机器人，具备对具有安装面的处理对象物进行预定处理的处理头和使该处理头在预定的平面方向上移动的移动部；

第一搬运部，向导入位置搬入所述处理对象物；

第二搬运部，从排出位置搬出所述处理对象物；

多关节机器人，配设于在所述处理头的移动区域的下方且所述第一搬运部与所述第二搬运部之间形成的可动空间，并以能够变更所述安装面的姿势的方式保持所述处理对象物，并且使所述处理对象物在所述导入位置与所述排出位置之间移动；及

控制部，控制所述XY机器人和所述多关节机器人，

所述导轨装置在所述第一搬运部和所述第二搬运部对能够搬运的基板进行搬运时被架设于所述第一搬运部与所述第二搬运部之间，并被装配于所述第一搬运部及所述第二搬运部所具备的导轨装配部，

所述导轨装置具备：

移动部，支撑所述基板并使所述基板移动；及

固定部，把持并固定所述基板。