[发明专利]检测装置

说明书

检测装置具有：绝缘基板；多个栅极线，设置于绝缘基板，在第一方向上延伸；多个信号线，设置于绝缘基板，在与第一方向交叉的第二方向上延伸；开关元件，与多个栅极线及多个信号线连接；第一光电转换元件，具有包含非晶态硅的第一半导体层，与开关元件连接；以及第二光电转换元件，具有包含多晶硅的第二半导体层，与开关元件连接。

技术领域

本发明涉及一种检测装置。

背景技术

近年来，作为用于个人认证等的生物体传感器已知一种光学式生物体传感器。作为生物体传感器已知指纹传感器(例如参照专利文献1)和静脉传感器。专利文献1记载的指纹传感器在半导体基板上排列有多个光电二极管等光电转换元件。在光电转换元件中，输出的信号根据照射的光量而变化。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：美国专利申请公开第2018/0012069号说明书

利用光学式传感器的生物体传感器不限于检测手指或手掌等被检测体的指纹的形状，而且需要检测被检测体的各种生物体信息。例如，在指纹检测和静脉检测中，光的波长、检测灵敏度不同。例如，在专利文献1中，由光电转换元件的特性确定具有灵敏度的波长区域。因此，有时难以通过同一检测装置良好地检测指纹或静脉等多种不同的生物体信息。

发明内容

本发明的目的在于提供一种能够通过同一设备检测各种生物体信息的检测装置。

本发明的一种方式的检测装置具有：绝缘基板；多个栅极线，设置于所述绝缘基板，在第一方向上延伸；多个信号线，设置于所述绝缘基板，在与所述第一方向交叉的第二方向上延伸；开关元件，与多个所述栅极线及多个所述信号线连接；第一光电转换元件，具有包含非晶态硅的第一半导体层，与所述开关元件连接；以及第二光电转换元件，具有包含多晶硅的第二半导体层，与所述开关元件连接。

附图说明

图1是示出具有第一实施方式的检测装置的带照明装置的检测设备的概略剖面构成的剖视图。

图2是示出第一实施方式的检测装置的俯视图。

图3是示出第一实施方式的检测装置的构成例的框图。

图4是示出检测装置的电路图。

图5是示出部分检测区域的电路图。

图6是示出检测装置的动作例的时序波形图。

图7是示意性示出第一实施方式的检测装置的部分检测区域的俯视图。

图8是图7的VIII-VIII’剖视图。

图9是示意性示出第一光电二极管及第二光电二极管的波长与光吸收系数的关系的曲线图。

图10是示出驱动电路所具有的开关元件的概略剖面构成的剖视图。

图11是示意性示出第一实施方式的第一变形例的检测装置的部分检测区域的俯视图。

图12是图11的XII-XII’剖视图。

图13是示出第二实施方式的部分检测区域的电路图。

图14是示出第二实施方式的检测装置的概略剖面构成的剖视图。

图15是示意性示出第三实施方式的检测装置的部分检测区域的俯视图。

图16是图15的XVI-XVI’剖视图。

图17是示意性示出第三实施方式的第二变形例的检测装置的部分检测区域的俯视图。

图18是示出第四实施方式的检测装置的概略剖面构成的剖视图。