[发明专利]减排方法和装置

说明书

公开一种减排装置和方法。所述减排装置用于处理来自半导体加工工具的流出物流，并且包括：第一减排设备，所述第一减排设备被构造成接收所述流出物流并且可操作成按活动模式运行以处理所述流出物流；第二减排设备，所述第二减排设备可操作成按空闲模式运行；以及控制逻辑，所述控制逻辑可操作成在接收到与所述第一减排设备相关联的警报状况的指示时按所述活动模式运行所述第二减排设备。以此方式，提供处理所述流出物流的第一或主要减排设备，并且在所述第一减排设备发生故障的情况下提供第二或备用减排设备。然而，通过仅在所述第一减排设备发生故障时才致使所述第二减排设备按所述活动模式操作，可以实现显著的能量节省。

技术领域

本发明的技术领域涉及一种减排装置和方法。

背景技术

减排装置是已知的，并且通常用于处理来自例如在半导体或平板显示器制造行业中使用的制造加工工具的流出气流。在此制造期间，在从所述加工工具泵送的流出气流中存在残留全氟化合物(PFC)和其它化合物。PFC难以从流出气体去除，并且不期望其释放到环境中，因为已知其具有相对高的温室活性。

已知的减排装置使用通常通过燃烧提供的热量来从流出气流去除PFC和其它化合物。通常，流出气流是包含PFC和其它化合物的氮气流。当使用燃烧来提供热量时，燃料气体与流出气流混合，并且所述气流混合物被输送到燃烧室中，所述燃烧室侧向地由多孔气体燃烧器的出口表面环绕。燃料气体和空气同时供应到所述多孔燃烧器以在所述出口表面处实现无焰燃烧，其中穿过所述多孔燃烧器的空气量足以不仅消耗供应到所述燃烧器的燃料气体，而且还消耗注入到所述燃烧室中的气流混合物中的所有可燃物。

虽然存在用于处理流出气流的此类减排装置，但是其各自具有其自己的缺点。因此，期望提供一种经改进的减排装置。

发明内容

根据第一方面，提供一种用于处理来自半导体加工工具的流出物流的减排装置，其包括：第一减排设备，所述第一减排设备被构造成接收所述流出物流并且可操作成按活动模式运行以处理所述流出物流；第二减排设备，所述第二减排设备可操作成按空闲模式运行；以及控制逻辑，所述控制逻辑可操作成在接收到与所述第一减排设备相关联的警报状况的指示时按所述活动模式运行所述第二减排设备。

所述第一方面认识到现有布置的问题在于减排设备发生故障，从而导致可能的减排损失，于是可能必需中断由产生所述流出物流的加工工具实施的加工，这是不期望的。因此，提供一种减排装置。所述减排装置可以处理由加工工具提供的流出物流。所述装置可以包括第一减排设备。所述第一减排设备可以接收所述流出物流。所述第一减排设备可以按活动、操作或减排模式运行或操作，以便处理或减少所述流出物流中的化合物。所述减排装置可以包括第二减排设备。所述第二减排设备可以按空闲、非操作或非减排模式运行或操作。所述减排装置可以包括控制逻辑或控制器。所述控制逻辑可以接收标识由所述第一减排设备经历的警报状况的指示或信号。于是，所述控制逻辑可以按所述活动模式运行或操作所述第二减排设备。以此方式，提供处理所述流出物流的第一或主要减排设备，并且在所述第一减排设备发生故障的情况下提供第二或备用减排设备。然而，通过仅在所述第一减排设备发生故障时才致使所述第二减排设备按所述活动模式操作，可以实现显著的能量节省。

在一个实施例中，所述警报状况指示所述第一减排设备的操作特性已经变化超过阈值量。因此，所述警报状况可以指示已经发生故障，因为所述第一减排设备的所述操作参数已经偏离到预期操作范围之外。

在一个实施例中，所述操作特性包括压力。

在一个实施例中，所述操作特性包括流率。

在一个实施例中，所述操作特性包括传感器误差。

在一个实施例中，所述操作特性包括阀误差。

在一个实施例中，所述装置包括可操作成将所述流出物流供应到所述第一减排设备和所述第二减排设备中的一者的转向阀。因此，所述转向阀可以例如是三端口阀，其可以仅将所述流出物流供应到所述第一减排设备或所述第二减排设备。