[发明专利]减排方法和装置

权利要求书

1.一种用于处理来自半导体加工工具的流出物流的减排装置，其包括：

第一减排设备，所述第一减排设备被构造成接收所述流出物流并且能够操作成按活动模式运行以处理所述流出物流；

第二减排设备，所述第二减排设备能够操作成按空闲模式运行；以及

控制逻辑，所述控制逻辑在接收到与所述第一减排设备相关联的警报状况的指示时能够操作成按所述活动模式运行所述第二减排设备。

2.根据权利要求1所述的减排装置，其中，所述警报状况指示所述第一减排设备的操作特性已经变化超过阈值量。

3.根据权利要求2所述的减排装置，其中，所述操作特性包括压力、流率、传感器误差和阀误差中的至少一者。

4.根据任一前述权利要求所述的减排装置，其包括能够操作成将所述流出物流供应到所述第一减排设备和所述第二减排设备中的一者的转向阀。

5.根据权利要求4所述的减排装置，其中，所述控制逻辑在接收到与所述第一减排设备相关联的所述警报状况的所述指示之后能够操作成控制所述转向阀将所述流出物流供应到所述第二减排设备。

6.根据权利要求4或5所述的减排装置，其中，所述控制逻辑能够操作成接收所述第二减排设备的模式状态的指示，并且当模式状态的所述指示指示所述第二减排设备正按所述活动模式运行时，所述控制逻辑能够操作成控制所述转向阀将所述流出物流供应到所述第二减排设备。

7.根据权利要求6所述的减排装置，其中，根据所述第二减排设备的温度的指示确定所述第二减排设备的所述模式状态的所述指示。

8.根据权利要求4至7中的任一项所述的减排装置，其中，所述控制逻辑在所述转向阀将所述流出物流供应到所述第二减排设备的操作之后能够操作成关停所述第一减排设备。

9.根据权利要求4至8所述的减排装置，其在所述转向阀的上游包括旁通阀，并且其中，所述警报状况具有与之相关联的转向时间，并且所述控制逻辑在所述第二减排设备未能在所述转向时间内从所述空闲模式切换到所述活动模式的情况下能够操作成激活所述旁通阀，以防止将所述流出物流供应到所述转向阀。

10.根据权利要求9所述的减排装置，其中，所述控制逻辑在接收到所述第二减排设备正按所述活动模式运行的指示时能够操作成停用所述旁通阀，以将所述流出物流供应到所述转向阀。

11.根据权利要求4至10中的任一项所述的减排装置，其在所述转向阀与所述第一减排设备之间包括第一隔离阀。

12.根据权利要求11所述的减排装置，其中，所述控制逻辑在激活所述转向阀以将所述流出物流供应到所述第二减排设备之后能够操作成激活所述第一隔离阀，以防止所述流出物流供应到所述第一减排设备。

13.一种处理来自半导体加工工具的流出物流的方法，其包括：

将所述流出物流提供到按活动模式运行的第一减排设备以处理所述流出物流；

提供按空闲模式运行的第二减排设备；以及

在接收到与所述第一减排设备相关联的警报状况的指示时，按所述活动模式运行所述第二减排设备。