[发明专利]锁定装置、锁定系统以及用于操作锁定装置的方法

说明书

本发明涉及一种具有至少一个锁定室(10；10a；10b)的锁定装置(68；68a；68b)，特别是真空锁定装置，所述至少一个锁定室特别地可以真空密封地关闭，所述锁定装置包括至少一个可移动地安装的锁定致动元件(12；12a；12b)，用于设定所述锁定室(10；10a；10b)的至少一个开口(14、16；14a、16a；14b、16b)的打开状态，优选是所述锁定室(10；10a；10b)的至少两个开口(14、16；14a、16a；14b、16b)的打开状态，并且所述锁定装置包括用于可移动地安装所述锁定致动元件(12；12a；12b)的支承单元(18；18a；18b)。

背景技术

本发明涉及根据权利要求1的前序部分的锁定装置、根据权利要求21的锁定系统、根据权利要求23的运输室以及根据权利要求24的用于操作锁定装置的方法。

已经提出了具有至少一个锁定室的锁定装置，所述锁定装置包括至少一个可移动支撑的锁定操作元件，其至少被配置为调节锁定室的至少一个开口的打开状态，并且包括支撑单元，其被配置用于锁定操作元件的可移动支撑。在文献EP2876341B1和US9,086,173B2中示出了此类锁定装置，其中在这些文献中，覆盖锁定室的开口的打开元件与锁定操作元件固定地且不可释放地连接。

本发明的目的具体地提供在灵活性方面具有有利特征的通用装置。目标根据本发明通过专利权利要求1、21、23和24的特征来实现，同时本发明的有利实施方案和其他进展可从从属权利要求获得。

发明内容

本发明基于锁定装置，特别是真空锁定装置，具有特别是可真空密封地关闭的至少一个锁定室，所述锁定装置包括至少一个被可移动地支撑的锁定操作元件，所述锁定操作元件至少被配置为调节所述锁定室的至少一个开口的打开状态，优选为所述锁定室的至少两个开口的打开状态，并且所述锁定装置包括被配置为可移动地支撑所述锁定操作元件的支撑单元。

建议将锁定操作元件至少被配置为以至少半自动、特别是全自动的方式在所述锁定操作元件和至少一个打开元件之间产生特别是可操作地释放的压入配合和/或形状配合联接，其中所述打开元件至少被配置用于关闭、优选为真空密封地关闭所述锁定室的至少所述开口和/或能够与所述锁定室联接的另一室、特别是处理室或运输室的至少一个开口。以这种方式，可以实现关于锁定装置的灵活性的特别有利的特性。锁定装置特别有利地是可以被配置用于切换和/或操纵多个不同的开口(例如具有不同的开口尺寸或不同的开口形状的开口)和/或多个不同的打开元件，类似于盖、板等。有利地，这例如使得能够联接不同的运输室以转移运输室的内容物，特别是在保持真空条件的同时，这有利地允许实现通过锁定将运输室的内容物无污染地运输到处理室中。特别地，尤其对于污染敏感的产品，类似于例如用于OLED生产的基础材料，可获得特别有利的转移特性。此外，可以有利地保持转移过程特别简单。

“锁定装置”特别地被理解为被配置用于在两个区域之间过渡的装置，所述两个区域具有不被混合的不同的特性。“真空锁定装置”特别地旨在实现在两个真空区域之间的过渡或在具有不同压力的两个区域之间的过渡，其中至少一个区域具有真空。“打开状态”特别地是指开口的关闭状态和/或开口的打开状态。“打开状态的调节”特别地是指开口的特别是可逆的打开和/或特别是可逆的关闭。“可移动的支撑件”特别地是指平移支撑件和/或旋转支撑件。特别地，支撑单元被配置为相对于锁定操作元件的另一部分可移动地支撑整个锁定操作元件和/或可移动地支撑锁定操作元件的至少一部分，其中优选地，锁定操作元件的所述部分和另一部分至少部分地布置在锁定室的内部中。锁定操作元件特别地被实现为某种类型的可自动驱动的滑块。特别地，锁定操作元件至少被配置用于优选地经由支撑单元、在打开元件的关闭开口的座与锁定操作元件的支撑位置之间移动至少两个打开元件。在支撑位置中，打开元件和/或锁定操作元件布置在锁定室内，使得锁定操作元件和/或以压入配合和/或形状配合的方式以及锁定操作元件联接的打开元件(特别是打开元件和第二打开元件)与连接开口的任何直线完全没有相交点，所述开口的打开状态可通过锁定操作元件调节。