[发明专利]锁定装置、锁定系统以及用于操作锁定装置的方法

权利要求书

1.一种具有至少一个锁定室(10；10a；10b)的锁定装置(68；68a；68b)，所述锁定装置是真空锁定装置，所述至少一个锁定室(10；10a；10b)能够真空密封地关闭，所述锁定装置包括至少一个被可移动地支撑的锁定操作元件(12；12a；12b)，所述锁定操作元件至少被配置为调节所述锁定室(10；10a；10b)的至少一个开口(14、16；14a、16a；14b、16b)的打开状态，并且所述锁定装置包括被配置为可移动地支撑所述锁定操作元件(12；12a；12b)的支撑单元(18；18a；18b)，

其特征在于，

所述锁定操作元件(12；12a；12b)至少被配置为以至少半自动的方式在所述锁定操作元件(12；12a；12b)和至少一个打开元件(20；20a；20b)之间产生可操作地释放的压入配合和/或形状配合联接，其中所述打开元件(20；20a；20b)至少被配置用于真空密封地关闭所述锁定室(10；10a；10b)的至少所述开口(14、16；14a、16a；14b、16b)和/或能够与所述锁定室(10；10a；10b)联接的另一室(26、28；26a、28a；26b、28b)的至少一个开口(24；24a；24b)，所述另一室是处理室(26；26a；26b)或运输室(28；28a；28b)，并且

所述锁定操作元件(12；12a；12b)包括至少一个联接元件(36；36a；36b)，所述联接元件由所述支撑单元(18；18a；18b)沿着至少两个彼此不同的移动路径(38、40；38a、40a；38b、40b)可移动地支撑。

2.根据权利要求1所述的锁定装置(68；68a；68b)，其特征在于，所述锁定操作元件(12；12a；12b)至少被配置为以至少半自动的方式在所述锁定操作元件(12；12a；12b)和不同于所述打开元件(20；20a；20b)的至少一个第二打开元件(22；22a；22b)之间产生压入配合和/或形状配合联接。

3.根据权利要求2所述的锁定装置(68；68a；68b)，其特征在于，所述锁定操作元件(12；12a；12b)被配置为在至少一种操作状态下以压入配合和/或形状配合的方式至少同时与所述打开元件(20；20a；20b)并且与所述第二打开元件(22；22a；22b)联接。

4.根据权利要求2或3所述的锁定装置(68；68a；68b)，其特征在于，所述锁定室(10；10a；10b)的能够由所述打开元件(20；20a；20b)关闭的所述开口(14；14a；14b)以及所述锁定室(10；10a；10b)的能够由所述第二打开元件(22；22a；22b)关闭的第二开口(16；16a；16b)布置在所述锁定室(10；10a；10b)的相对两侧(84、86；84a、86a；84b、86b)上。

5.根据权利要求4所述的锁定装置(68；68a；68b)，其特征在于，在与所述开口(14；14a；14b)的开口平面(50；50a；50b)垂直的观察方向上，至少所述开口(14；14a；14b)和所述第二开口(16；16a；16b)至少在很大程度上重叠。

6.根据权利要求2或3所述的锁定装置(68；68a；68b)，其特征在于，所述锁定操作元件(12；12a；12b)至少被配置用于至少与所述打开元件(20、22；20a、22a；20b、22b)磁耦合。

7.根据权利要求2或3所述的锁定装置(68；68a；68b)，其特征在于，所述锁定操作元件(12；12a；12b)至少被配置用于至少与所述打开元件(20、22；20a、22a；20b、22b)进行可操作地释放的压入配合和/或形状配合机械联接。

8.根据权利要求2或3所述的锁定装置，其特征在于，所述锁定操作元件(12；12a；12b)至少被配置用于至少与所述打开元件(20、20、22；20a、22a；20b、22b)气动联接。