[发明专利]活性气体生成装置

说明书

本发明的目的在于提供一种活性气体生成装置的结构，能够有意图地减弱在装置的后级设置的处理空间的电场强度，并且将活性气体的失活量抑制在必要最小限度。而且，在本发明的活性气体产生装置(101)中，设置于电极用电介质膜(11)上的辅助导电膜(12)以俯视时与所述活性气体流通路径的一部分重叠的方式设置，并且辅助导电膜(12)被设定为接地电位。设置于电极用电介质膜(21)上的活性气体用辅助部件(60)设置为，在电极用电介质膜(11)和(21)之间的电介质空间内，在放电空间(6)与气体喷出孔(23)之间填埋活性气体流通路径的一部分而限制为活性气体流通用间隙。

技术领域

本发明涉及利用平行平板方式的电介质阻挡放电来生成活性气体，并向后级的处理空间供给活性气体的活性气体生成装置。

背景技术

利用平行平板方式的电介质阻挡放电来生成活性气体的活性气体生成装置例如在专利文献1中公开。

图8是表示专利文献1所公开的以往的氮自由基生成系统300的概略结构的说明图。氮自由基生成系统300由氮自由基生成装置301、交流电压源308以及处理腔室312构成。

作为活性气体生成装置的氮自由基生成装置301利用电介质阻挡放电，从氮气生成作为活性气体的氮自由基。

在氮自由基生成装置301内的空间302中，配设有用于生成电介质阻挡放电的放电单元。在此，上述放电单元由第一电极303及第二电极304构成。

第二电极304设置于氮自由基生成装置301的底面的中央部。而且，与第二电极304相面对地配置有第一电极303。在此，第一电极303与第二电极304隔开规定的间隔而相面对。即，在第一电极303与第二电极304之间形成有放电空间305。

另外，在面向放电空间305的第一电极303的主面(放电空间形成面)以及面向放电空间305的第二电极304的主面(放电空间形成面)中的至少一个面上配置有电介质(在图8中省略图示)。

上述放电单元能够使第一电极303与第二电极304之间的放电空间305产生电介质阻挡放电。

在氮自由基生成装置301的上表面中央部配设有气体供给口306。经由气体供给口306从氮自由基生成装置301的外部向氮自由基生成装置301内的空间302供给作为原料气体的氮气。

在第二电极304的中央部，穿设有一个气体放出部307，该气体放出部307是氮自由基气体向氮自由基生成装置301外输出的贯通孔。

交流电压源308对上述放电单元施加高压的交流电压。交流电压源308的一个端子与第一电极303电连接。另外，交流电压源308的另一端子与氮自由基生成装置301的壳体(接地)电连接。另外，从上述可知，在氮自由基生成装置301的底面配设有第二电极304。因此，交流电压源308的另一个端子经由氮自由基生成装置301与第二电极304电连接。

即，交流电压源308向第一电极303与第二电极304之间施加高压的交流电压。而且，通过交流电压的施加，在第一电极303与第二电极304之间的放电空间305中，产生电介质阻挡放电。

从气体供给口306供给的氮气从各电极303、304的外周部侵入放电空间305内。然后，氮气从各电极303、304的外周部向内部传播。由于在放电空间305内产生的电介质阻挡放电，从传播中的氮气生成氮自由基气体。所生成的氮自由基气体从气体放出部307向氮自由基生成装置301外输出。

另外，如图8所示，在氮自由基生成装置301的下侧配设有处理腔室312。在此，氮自由基生成装置301的底面与处理腔室312的上表面相接触。

另外，在氮自由基生成装置301与处理腔室312之间配设有节流(orifice)部309。节流部309经由细孔310将气体放出部307与处理腔室312内的处理室311连接。