[发明专利]活性气体生成装置

权利要求书

1.一种活性气体生成装置，生成活性气体，该活性气体是对被供给至放电空间的原料气体进行活化而得到的，

该活性气体生成装置具备：

第一电极构成部；以及

第二电极构成部，设置于所述第一电极构成部的下方，

所述第一电极构成部具有第一电极用电介质膜和在所述第一电极用电介质膜的上表面上形成的第一金属电极，所述第二电极构成部具有第二电极用电介质膜和在所述第二电极用电介质膜的下表面上形成的第二金属电极，所述第一金属电极和所述第二金属电极间被施加交流电压，在所述第一电极用电介质膜和所述第二电极用电介质膜相对置的电介质空间内，包含所述第一金属电极和所述第二金属电极在俯视时重叠的区域作为所述放电空间，

所述第二电极用电介质膜具有用于向外部喷出所述活性气体的气体喷出孔，从所述放电空间到所述气体喷出孔的路径被规定为活性气体流通路径，

所述第一电极构成部还具有辅助导电膜，

该辅助导电膜在所述第一电极用电介质膜的上表面上与所述第一金属电极独立地形成，

所述辅助导电膜以俯视时与所述活性气体流通路径的一部分重叠的方式设置，且所述辅助导电膜被设定为接地电位，

所述活性气体生成装置还具备活性气体用辅助部件，

该活性气体用辅助部件设置为，在所述电介质空间内，在所述放电空间与所述气体喷出孔之间将所述活性气体流通路径的一部分填埋。

2.根据权利要求1所述的活性气体生成装置，其特征在于，

在所述电介质空间内，所述原料气体到达所述放电空间的路径被规定为原料气体流通路径，

所述活性气体生成装置还具备原料气体用辅助部件，

该原料气体用辅助部件设置为，在所述电介质空间内，将所述原料气体流通路径的一部分填埋。

3.根据权利要求1或2所述的活性气体生成装置，其特征在于，

所述原料气体为包含氢、氮、氧、氟、氯气中的至少一种的气体。