[发明专利]TSV冗余及TSV测试选择方案在审
申请号: | 201980073314.5 | 申请日: | 2019-10-21 |
公开(公告)号: | CN112970109A | 公开(公告)日: | 2021-06-15 |
发明(设计)人: | 佐都誉;近藤力;井出昭 | 申请(专利权)人: | 美光科技公司 |
主分类号: | H01L25/065 | 分类号: | H01L25/065;G01R31/28 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 王艳娇 |
地址: | 美国爱*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | tsv 冗余 测试 选择 方案 | ||
1.一种设备,其包括:
多个第一选择线,其各自在第一方向上延伸;
多个第二选择线,其各自在第二方向上延伸以与所述多个第一选择线交叉;及
多个贯穿衬底通孔TSV单元,其分别经安置于所述多个第一选择线与所述多个第二选择线的相交点中;
其中所述多个TSV单元的每一TSV单元包括:
TSV;
开关,其经耦合到所述TSV;及
选择电路,其经耦合到所述多个第一选择线中的相关联者及所述多个第二选择线中的相关联者,所述选择电路经配置以响应于所述多个第一选择线中的所述相关联者及所述多个第二选择线中的所述相关联者中的每一者被设置为作用电平而控制所述开关的开关状态。
2.根据权利要求1所述的设备,
其中所述开关插入于所述TSV与电压线之间;且
其中所述选择电路经进一步配置以响应于所述多个第一选择线中的所述相关联者及所述多个第二选择线中的所述相关联者中的每一者被设置为所述作用电平而导致所述开关形成所述TSV与所述电压线之间的导电路径。
3.根据权利要求1所述的设备,
其中所述开关包含经耦合到所述TSV的第一节点、经耦合到相邻TSV单元的第二节点及经耦合到信号线的第三节点;且
其中所述选择电路经进一步配置以响应于所述多个第一选择线中的所述相关联者及所述多个第二选择线中的所述相关联者中的至少一者被设置为非作用电平而导致所述开关形成所述TSV与所述信号线之间的第一导电路径,所述选择电路经进一步配置以响应于所述多个第一选择线中的所述相关联者及所述多个第二选择线中的所述相关联者中的每一者被设置为所述作用电平而导致所述开关形成所述相邻TSV单元与所述信号线之间的第二导电路径。
4.根据权利要求1所述的设备,
其中所述设备进一步包括:
多个第三选择线,其各自在所述第一方向上延伸;及
多个第四选择线,其各自在所述第二方向上延伸;
其中所述多个TSV单元的每一TSV单元进一步包括经耦合到所述TSV的额外开关;且
其中所述选择电路进一步经耦合到所述多个第三选择线中的相关联者及所述多个第四选择线中的相关联者,所述选择电路经进一步配置以响应于所述多个第三选择线中的所述相关联者及所述多个第四选择线中的所述相关联者中的每一者被设置为作用电平而控制所述额外开关的开关状态。
5.根据权利要求1所述的设备,其中经耦合到所述TSV的所述开关经配置以响应于所述多个第一选择线中的所述相关联者及所述多个第二选择线中的所述相关联者被设置为非作用电平而取消激活。
6.根据权利要求1所述的设备,其中所述多个TSV单元的每一TSV单元进一步包括经耦合到所述TSV的额外开关。
7.根据权利要求1所述的设备,其中所述开关经耦合到信号线,且
其中所述选择电路经进一步配置以响应于所述多个第一选择线中的所述相关联者及所述多个第二选择线中的所述相关联者中的至少一者被设置为非作用电平而控制所述开关以形成所述信号线与所述TSV之间的导电路径。
8.根据权利要求7所述的设备,其中响应于所述多个第一选择线中的所述相关联者及所述多个第二选择线中的所述相关联者中的所述至少一者被设置为非作用电平,所述选择电路控制所述开关取消激活,且由所述经取消激活开关形成所述信号线与所述TSV之间的所述导电路径。
9.根据权利要求1所述的设备,其中所述选择电路经进一步配置以控制所述开关的所述开关状态响应于所述多个第一选择线中的所述相关联者及所述多个第二选择线中的所述相关联者中的每一者被设置为所述作用电平而与相邻于所述TSV的另一TSV形成导电路径。
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