[发明专利]检查指示信息产生装置、基板检查系统、检查指示信息产生方法以及检查指示信息产生程序

说明书

检查指示信息产生装置1包括：存储部34，存储导电结构信息D1，所述导电结构信息D1表示具备设有多个导电部P的表背一对基板面F1、F2、层叠在基板面F1、基板面F2之间的层即配线层L、及将配线层L的配线与多个导电部P连接的通孔V的基板B的导电部P、配线W及通孔V如何导通连接；以及检查指示信息产生部33，执行检查指示信息产生处理，所述检查指示信息产生处理基于导电结构信息D1使形成于同一基板面的导通部P彼此成对地将多个导电部P两两组合，并产生表示所述组合后的一对导电部P的信息作为检查指示信息D2。

技术领域

本发明涉及一种产生用于指示检查基板时的检查部位的检查指示信息的检查指示信息产生装置、使用所述检查指示信息进行检查的基板检查系统、检查指示信息产生方法以及检查指示信息产生程序。

背景技术

自之前以来，已知有如下的检查装置：针对设置在基板上的穿通孔(throughhole)，使探针跨越基板的表背分别与穿通孔的一端和另一端接触，从而进行穿通孔的电阻测量(例如，参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开平09-043295号公报

发明内容

但是，如所述的检查装置那样，为了测量基板的表背之间的电压，需要跨越基板的表背牵引将探针连接到电压表上的配线。因此，测量配线的回路变大，容易拾取噪声，结果可能会降低电阻测量精度。另外，如果跨越基板的表背，使探针分别接触基板的表面和背面，由于在基板的两面间对外来噪声的影响产生差异，探针的检测电压上叠加噪声，因此有可能降低电阻测量精度。

本发明的目的在于提供一种产生检查指示信息的检查指示信息产生装置、包含所述检查指示信息产生装置的基板检查系统、检查指示信息产生方法以及检查指示信息产生程序，所述检查指示信息表示容易提高通孔的电阻测量精度的检查部位。

本发明的一个例子所涉及的检查指示信息产生装置是用于对基板进行检查的检查指示信息产生装置，所述基板具备设置有多个导电部的表背一对基板面、层叠于所述一对基板面之间的层即配线层、以及将所述配线层的配线和所述导电部连接的通孔，所述检查指示信息产生装置具备：存储部，存储表示所述基板的所述导电部、所述配线、及所述通孔如何导通连接的导电结构信息；以及检查指示信息产生部，执行检查指示信息产生处理，所述检查指示信息产生处理基于所述导电结构信息，使形成于同一所述基板面的所述导通部彼此成对地将所述导电部两两组合，并产生表示所述组合后的一对导电部的信息作为检查指示信息。

另外，本发明的一个例子所涉及的检查指示信息产生方法是用于对基板进行检查的检查指示信息产生方法，所述基板具备设置有多个导电部的表背一对基板面、层叠于所述一对基板面之间的层即配线层、以及将所述配线层的配线和所述导电部连接的通孔，所述检查指示信息产生方法执行检查指示信息产生处理，所述检查指示信息产生处理基于表示所述基板的所述导电部、所述配线、及所述通孔如何导通连接的导电结构信息，使形成于同一所述基板面的所述导通部彼此成对地将所述导电部两两组合，并产生表示所述组合后的一对导电部的信息作为检查指示信息。

另外，本发明的一个例子所涉及的检查指示信息产生程序是用于对基板进行检查的检查指示信息产生程序，所述基板具备设置有多个导电部的表背一对基板面、层叠于所述一对基板面之间的层即配线层、以及将所述配线层的配线和所述导电部连接的通孔，所述检查指示信息产生程序使计算机执行检查指示信息产生处理，所述检查指示信息产生处理基于表示所述基板的所述导电部、所述配线、及所述通孔如何导通连接的导电结构信息，使形成于同一所述基板面的所述导通部彼此成对地将所述导电部两两组合，并产生表示所述组合的一对导电部的信息作为检查指示信息。

另外，本发明的基板检查系统包括：所述检查指示信息产生装置；以及基板检查装置，基于由所述检查指示信息产生装置产生的检查指示信息，执行所述通孔的检查。

附图说明