[发明专利]检查指示信息产生装置、基板检查系统、检查指示信息产生方法以及检查指示信息产生程序

权利要求书

1.一种检查指示信息产生装置，是用于检查基板的检查指示信息产生装置，所述基板包括：设置有多个导电部的表背一对的基板面、层叠于所述一对基板面之间的层即配线层、以及将所述配线层的配线与所述导电部连接的通孔，所述检查指示信息产生装置包括：

存储部，存储表示所述基板的所述导电部、所述配线及所述通孔如何导通连接的导电结构信息；以及

检查指示信息产生部，执行如下检查指示信息产生处理：基于所述导电结构信息，使形成于同一所述基板面的所述导通部彼此成对地将所述导电部两两组合，并产生表示所述组合后的一对导电部的信息作为检查指示信息。

2.根据权利要求1所述的检查指示信息产生装置，其中所述检查指示信息产生处理是如下处理：在将所述多个导电部两两组合时，自所述经组合的一对导电部间的计算上的电阻值小的对开始依序组合，由此产生所述检查指示信息。

3.根据权利要求1所述的检查指示信息产生装置，其中所述检查指示信息产生处理是如下处理：在将所述多个导电部两两组合时，自所述经组合的一对导电部间的，在所述基板面上的距离短的对开始依序组合，由此产生所述检查指示信息。

4.根据权利要求1所述的检查指示信息产生装置，其中所述检查指示信息产生处理是如下处理：在将所述多个导电部两两组合时，自所述经组合的一对导电部间的导电路径所包含的通孔的数量和配线的数量的合计少的对开始依序组合，由此产生所述检查指示信息。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的检查指示信息产生装置，其中所述检查指示信息产生部还执行：

搜索处理：基于所述导电结构信息，搜索不位于在所述检查指示信息产生处理中所组合的各对的自一个导电部到另一个导电部的导电路径上的通孔；以及

导电部追加处理，在所述搜索处理中发现不位于所述导电路径上的通孔的情况下，基于所述导电结构信息选择位于包含所述发现的通孔的导电路径两端的一对导电部，并将表示所述一对导电部的信息追加到所述检查指示信息中。

6.根据权利要求5所述的检查指示信息产生装置，其中所述导电部追加处理是如下处理：自位于所述两端的一对导电部中选择满足所述导电部对间的计算上的电阻值最小的条件的导电部对。

7.根据权利要求5所述的检查指示信息产生装置，其中所述导电部追加处理是如下处理：自位于所述两端的一对导电部中选择满足在所述基板面上的距离最短的条件的导电部对。

8.根据权利要求5所述的检查指示信息产生装置，其中所述导电部追加处理是如下处理：自位于所述两端的一对导电部中，选择满足所述导电部间的导电路径所包含的通孔的数量与配线的数量的合计最少的条件的导电部对。

9.根据权利要求6至8中任一项所述的检查指示信息产生装置，其中所述导电部追加处理是如下处理：在位于所述两端的一对导电部中的形成于同一基板面的导电部彼此的导电部对中，优先选择满足所述条件的导电部对。

10.根据权利要求5至9中任一项所述的检查指示信息产生装置，其中所述基板还包括：多个所述配线层、及连接所述多个配线层间的多个通孔，

所述检查指示信息产生装置还包括简化处理部，所述简化处理部执行简化处理，所述简化处理在所述多个配线层的配线并联连接的情况下，以将所述并联连接的多根配线替换为一根配线的方式，变更所述导电结构信息，

所述检查指示信息产生部基于执行了所述简化处理的导电结构信息，执行所述搜索处理。

11.根据权利要求10所述的检查指示信息产生装置，其中所述简化处理还包括如下处理：在通过所述多个配线层的配线而并联连接有所述通孔或通孔的列的情况下，以将所述并联连接的通孔或通孔的列替换为一个通孔或一列通孔的方式，变更所述导电结构信息。