[发明专利]激光加工装置

权利要求书

1.一种激光加工装置，其中，

具备：

支撑部，其载置有对象物，且能够以沿着铅直方向的轴为中心旋转；

第1激光加工头，其对载置于所述支撑部的所述对象物照射第1激光，在该对象物的内部形成第1改质区域；

第2激光加工头，其对载置于所述支撑部的所述对象物照射第2激光，在该对象物的内部形成第2改质区域；

第1铅直移动机构，其以作为所述第1激光的聚光点的第1聚光点沿着所述铅直方向移动的方式使所述支撑部及所述第1激光加工头的至少一方移动；

第2铅直移动机构，其以作为所述第2激光的聚光点的第2聚光点沿着所述铅直方向移动的方式使所述支撑部及所述第2激光加工头的至少一方移动；

第1水平移动机构，其以所述第1聚光点沿着水平方向移动的方式使所述支撑部及所述第1激光加工头的至少一方移动；

第2水平移动机构，其以所述第2聚光点沿着水平方向移动的方式使所述支撑部及所述第2激光加工头的至少一方移动；以及

控制部，其控制所述支撑部的旋转、来自所述第1及第2激光加工头的所述第1及第2激光的照射、以及所述第1及第2聚光点的移动。

2.如权利要求1所述的激光加工装置，其中，

所述控制部是通过一边使所述支撑部旋转，一边从所述第1及第2激光加工头分别照射所述第1及第2激光，并控制所述第1及第2聚光点各自的水平方向的移动，从而实行在所述对象物的内部沿着虚拟面形成所述第1及第2改质区域的第1剥离处理。

3.如权利要求2所述的激光加工装置，其中，

在所述第1剥离处理，

通过一边使所述支撑部旋转，一边使所述第1及第2聚光点各自以互相接近的方式向水平方向移动，从而形成以所述支撑部的旋转轴的位置为中心的漩涡状的所述第1改质区域，并形成以所述支撑部的旋转轴的位置为中心的漩涡状且不与所述第1改质区域重叠的所述第2改质区域。

4.如权利要求2所述的激光加工装置，其中，

在所述第1剥离处理，

通过一边使所述支撑部旋转，一边使所述第1及第2聚光点各自以互相分离的方式向水平方向移动，从而形成以所述支撑部的旋转轴的位置为中心的漩涡状的所述第1改质区域，并形成以所述支撑部的旋转轴的位置为中心的漩涡状且不与所述第1改质区域重叠的所述第2改质区域。

5.如权利要求2～4中任一项所述的激光加工装置，其中，

在所述第1剥离处理，

通过一边使所述支撑部旋转，一边使所述第1及第2聚光点各自向水平方向移动，从而形成以所述支撑部的旋转轴的位置为中心的漩涡状的所述第1改质区域，并形成以所述支撑部的旋转轴的位置为中心的漩涡状且与所述第1改质区域连续衔接的所述第2改质区域。

6.如权利要求2所述的激光加工装置，其中，

在所述第1剥离处理，

通过一边使所述支撑部旋转，一边使所述第1聚光点以向水平方向的一个方向及另一个方向往复的方式反复移动，从而沿着所述支撑部的旋转方向形成波状地延伸的所述第1改质区域，

通过一边使所述支撑部旋转，一边使所述第2聚光点以向水平方向的一个方向移动，从而形成以所述支撑部的旋转轴的位置为中心的漩涡状且与所述第1改质区域交叉的所述第2改质区域。

7.如权利要求2～6中任一项所述的激光加工装置，其中，

所述控制部以所述第1及第2改质区域所包含的多个改质点的间距成为恒定的方式，控制所述支撑部的旋转、来自所述第1及第2激光加工头的所述第1及第2激光的照射、以及所述第1及第2聚光点的移动的至少任一者。

8.如权利要求7所述的激光加工装置，其中，

在所述第1剥离处理，

一边使从所述支撑部的旋转轴到所述第1聚光点之间与从所述支撑部的旋转轴到所述第2聚光点之间维持成等距离，一边使所述第1及第2聚光点各自向水平方向移动。