[发明专利]使用清洁且干燥的气体以用于颗粒物移除和用于其的组件

权利要求书

1.一种颗粒物移除组件，包括：

(a) 过滤器；

(b) 干燥器；

(c) 流控制器；以及

(d) 出口，

其中，所述过滤器、干燥器、流控制器和出口连接以允许气体流过所述过滤器、干燥器和出口，并且其中所述流控制器控制通过所述出口的流率。

2.根据权利要求1所述的组件，其特征在于，所述过滤器在所述干燥器的上游。

3.根据权利要求1或权利要求2所述的组件，其特征在于，所述干燥器在所述流控制器的上游。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的组件，其特征在于，所述出口是吹出喷嘴。

5.根据权利要求4所述的组件，其特征在于，所述吹出喷嘴包括多个开口。

6.根据权利要求1-4中任一项所述的组件，其特征在于，所述流控制器包括阀。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的组件，其特征在于，所述过滤器选自下者构成的组：纤维过滤器、聚合物过滤器、纸过滤器、金属网过滤器、膜、活性炭、静电沉积器或其组合。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的组件，其特征在于，所述干燥器选自下者构成的组：蒸发干燥器、膜式干燥器、吸收干燥器、吸附干燥器或其组合。

9.根据权利要求1所述的组件，其特征在于，所述干燥器包括膜式干燥器。

10.根据权利要求1-9中任一项所述的组件，其特征在于，所述组件此外包括用于在所述出口的上游储存所述气体的存储器。

11.根据权利要求10所述的组件，其特征在于，所述存储器在所述过滤器和干燥器的下游。

12.根据权利要求1-11中任一项所述的组件，其特征在于，所述过滤器具有≤0.1µm的多孔结构。

13.根据权利要求1-12中任一项所述的组件，其特征在于，在通过所述过滤器和干燥器之后，所述气体具有≤90000粒/m³的尺寸为0.5-1µm的颗粒物以及≤1000粒/m³的尺寸为1-5µm的颗粒物。

14.根据权利要求1-13中任一项所述的组件，其特征在于，在通过所述过滤器和干燥器之后，所述气体具有≤-20ºC的蒸汽压力露点。

15.根据权利要求1-14中任一项所述的组件，其特征在于，在通过所述过滤器和干燥器之后，所述气体具有≤0.1mg/m³的总油量。

16.一种样本成像装置，包括：

(a) 成像器；以及

(b) 颗粒物移除组件，其包括出口，该出口定位成在成像之前将一定体积的气体引导到样本容器，其中所述气体具有≤90000粒/m³的尺寸为0.5-1µm的颗粒物以及≤1000粒/m³的尺寸为1-5µm的颗粒物。

17.根据权利要求16所述的装置，其特征在于，所述气体具有≤-20ºC的蒸汽压力露点。

18.根据权利要求16或17所述的装置，其特征在于，所述气体具有≤0.1mg/m³的总油量。

19.一种样本成像装置，包括：

(a) 成像器；以及

(b) 根据权利要求1-15中任一项所述的颗粒物移除组件。