[发明专利]基板处理装置、开闭基板收容容器的盖的方法

权利要求书

1.一种基板处理装置，具有：

基板处理部，其具有加载埠，该加载埠构成为配置收容有至少一个基板的基板收容容器，所述基板处理部构成为从配置于所述加载埠的所述基板收容容器取出基板，并对该基板实施一系列的处理；以及

控制部，其构成为控制配置于所述加载埠的所述基板收容容器的盖的开闭，在将所述基板收容容器配置于所述加载埠之后，所述控制部控制为打开所述盖，在所述基板处理部发生了异常状态并经过了预先决定的时间、并且从所述基板收容容器取出来的基板中没有能够回收至所述基板收容容器中的基板的情况下，所述控制部控制为关闭所述盖。

2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，

所述控制部构成为控制所述基板处理部，

在经过了所述预先决定的时间后，所述控制部控制为将所述能够回收的基板回收至所述基板收容容器中，

在将所述能够回收的基板回收至所述基板收容容器之后，所述控制部控制为关闭所述盖。

3.根据权利要求2所述的基板处理装置，其特征在于，

在所述基板处理部发生了异常状态的情况下，所述控制部控制为停止所述一系列的处理，

在所述异常状态在经过所述预先决定的时间之前被解除了的情况下，所述控制部控制为不关闭所述盖并再次开始所述一系列的处理。

4.根据权利要求2或3所述的基板处理装置，其特征在于，

在所述异常状态在关闭所述盖之后被解除了的情况下，所述控制部控制为再次打开所述盖。

5.根据权利要求1至4中的任一项所述的基板处理装置，其特征在于，

所述异常状态为无法使用所述基板处理部中的基板的处理路径上的模块的状态。

6.根据权利要求5所述的基板处理装置，其特征在于，

在由于所述模块中发生不良而使所述模块成为等待从该不良恢复的状态时，无法使用所述模块。

7.根据权利要求5所述的基板处理装置，其特征在于，

在所述模块为维修状态时无法使用所述模块。

8.根据权利要求5至7中的任一项所述的基板处理装置，其特征在于，

所述模块为处理模块或搬送模块。

9.根据权利要求1至4中的任一项所述的基板处理装置，其特征在于，

所述异常状态为基板从所述基板处理部中的基板的处理路径上丢失的状态。

10.一种开闭基板收容容器的盖的方法，所述方法包括以下步骤：

在将收容有至少一个基板的基板收容容器配置于基板处理装置内后，打开该基板收容容器的盖；

从所述基板收容容器中取出基板；以及

在所述基板处理装置发生了异常状态并经过了预先决定的时间、并且从所述基板收容容器中取出来的基板中没有能够回收至所述基板收容容器中的基板的情况下，关闭所述盖。