[发明专利]具有多个电极组件或注入气体的等离子体反应器

说明书

公开具有多个电极组件或注入气体的等离子体反应器。所述等离子体反应器包括本体及形成于所述本体上的相隔的多个电极组件。其中，所述电极组件具有形成于所述本体上的电介质及形成于所述电介质上的电极，所述电极组件的电极被施加电源时发生等离子体反应以分解在所述本体的内部流动的污染物质。

技术领域

本发明涉及具有多个组件或注入气体的等离子体反应器。

背景技术

现有等离子体反应器以圆形卷绕电介质周围的形态使用一个电极组件。

因此，所述电极组件出问题的情况下需要关闭电源，从而无法进行等离子体反应，具有从工程腔室流入的污染物质流到真空泵的问题。

并且，具有所述等离子体反应器的内表面附着导电物质导致电极与接地连接的问题。

发明内容

技术问题

本发明的目的是提供具有多个电极组件的等离子体反应器。

并且，本发明的目的在于提供通过注入气体使得电极与接地之间绝缘的等离子体反应器。

技术方案

为达到上述目的，本发明的一个实施例的等离子体反应器包括本体；以及形成于所述本体上的相隔的多个电极组件。其中，所述电极组件具有形成于所述本体上的电介质及形成于所述电介质上的电极，所述电极组件的电极被施加电源时发生等离子体反应以分解在所述本体的内部流动的污染物质。

本发明的另一实施例的等离子体反应器包括起到接地作用且内部用于从工程腔室输入的气体流动的本体；形成于所述本体上的电极；以及形成于所述本体内侧的接地。其中，所述电极被施加电源时所述电极与所述接地之间发生电场，通过所述电场分解所述气体。

本发明又一实施例的等离子体反应器包括起到接地作用的本体；至少一部分排列于所述本体上的电介质；以及排列于所述电介质上的电极。其中，形成于所述本体与所述电介质中至少一个的所述等离子体反应器的内部空间为真空氛围，在所述真空氛围下气体注入到所述等离子体反应器的内部空间将导电物质变成绝缘物质或防止物质附着于所述等离子体反应器的内部表面或清洗所述内部表面。

本发明又一实施例的等离子体反应器包括本体；具有至少一部分排列于所述本体上的电介质及排列于所述电介质上的电极的至少一个电极组件；以及监控所述电极组件的环境的压力传感器。

本发明的等离子体反应器使用多个电极组件，从而能够提高等离子体反应器的寿命及功能。

并且，气体注入到所述等离子体反应器的内部空间，从而能够防止导电物质将电极与接地连接起来的现象。即，所述电极与所述接地可绝缘。

附图说明

图1为本发明的一个实施例的工程系统的简要示意图；

图2为本发明第一实施例的等离子体反应器的示意图；

图3为图2的等离子体反应器中电场的流动示意图；

图4为图2的等离子体反应器中污染物质的流动示意图；

图5为本发明的另一实施例的等离子体反应器的剖面图；

图6为图5的等离子体反应器中等离子体放电流的示意图；

图7为图5的等离子体反应器中污染物质的流动的示意图；

图8为本发明的另一实施例的等离子体反应器中电场的流动的示意图；

图9为图8的等离子体反应器中污染物质的流动的示意图；

图10为本发明又一实施例的等离子体反应器的示意图；

图11为气体注入的示意图；