[发明专利]具有多个电极组件或注入气体的等离子体反应器

权利要求书

1.一种等离子体反应器，其特征在于，包括：

本体；以及

多个电极组件，形成于所述本体上且彼此相隔，

其中，所述电极组件具有形成于所述本体上的电介质及形成于所述电介质上的电极，所述电极组件的电极被施加电源时发生等离子体反应以分解在所述本体的内部流动的污染物质。

2.根据权利要求1所述的等离子体反应器，其特征在于，

所述本体起到接地的功能，所述等离子体反应通过所述电极与所述接地之间发生的电场被分解去除。

3.根据权利要求2所述的等离子体反应器，其特征在于，

所述本体的内侧中央还形成有最小化通过所述电极组件形成的电场之间的干涉的附加接地，所述电极组件以位于所述入口与所述附加接地之间的状态向所述附加接地排列以抑制等离子体向所述入口行进，以此使得所述电极组件与所述附加接地形成的电场不会形成到所述污染物质流入的入口。

4.根据权利要求1所述的等离子体反应器，其特征在于，

部分电极组件非正常工作的情况下，向正常工作的电极组件施加更高的电源。

5.根据权利要求1所述的等离子体反应器，其特征在于，

所述本体上形成多个出口部，所述出口部分别与真空泵连接。

6.根据权利要求1所述的等离子体反应器，其特征在于，

所述本体为多面体，所述电极组件相隔排列于所述多面体上的面上。

7.一种等离子体反应器，其特征在于，包括：

本体，起到接地作用，并且从工程腔室输入的气体在其内部流动；

电极，形成于所述本体上；以及

接地，形成于所述本体内侧，

其中，所述电极被施加电源时所述电极与所述接地之间发生电场，通过所述电场分解所述气体。

8.一种等离子体反应器，其特征在于，包括：

本体，起到接地的作用；

电介质，其至少一部分排列于所述本体上；以及

电极，排列于所述电介质上，

其中，通过所述本体与所述电介质中至少一个形成的所述等离子体反应器的内部空间为真空氛围，在所述真空氛围下气体注入到所述等离子体反应器的内部空间将导电物质变成绝缘物质或防止物质附着于所述等离子体反应器的内部表面或清洗所述内部表面。

9.根据权利要求8所述的等离子体反应器，其特征在于，

所述气体通过所述本体与所述电介质之间空间注入所述等离子体反应器的内部空间。

10.根据权利要求8所述的等离子体反应器，其特征在于，

还包括罩住所述本体、所述电介质及所述电极的安全罩，

所述气体输入到贯通所述安全罩的空间后通过所述本体与所述电介质之间空间注入到所述内部空间。

11.根据权利要求9所述的等离子体反应器，其特征在于，

所述本体与所述电介质之间空间形成有向所述内部空间喷射所述气体的喷嘴。

12.根据权利要求8所述的等离子体反应器，其特征在于，

所述气体的种类根据注入所述气体的目的而异。

13.根据权利要求8所述的等离子体反应器，其特征在于，

还包括罩住所述本体、所述电介质及所述电极的安全罩，

所述安全罩的内侧面形成有相互分离的第一槽及第二槽，第一环插入所述第一槽，第二环插入所述第二槽，

所述第一环防止注入的所述气体流入所述等离子体反应器的电极组件内部，所述第二环防止所述电介质破损时所述真空氛围破坏且防止注入的所述气体流出到所述等离子体反应器的外部。