[发明专利]无损自动检查系统

说明书

提供一种小型化的无损自动检查系统，能够高效且准确地以无损方式检查主表面的面积大的被检查物的微细缺陷或不合格。具备检查单元，所述检查单元具有：检查线产生部(12)，从点光源对被检查物射出检查线；检查工作台(15)，为了定义被检查物的期望检查点处的检查线倾斜入射的检查角度，所述检查工作台(15)能够搭载被检查物沿着三维正交坐标系平移移动；以及图像传感器(13)，为了拍摄基于以检查角度入射到被检查物并透射过被检查物的检查线而形成的被检查物的图像，而以点光源的位置为极坐标的中心并在该极坐标的中心所定义的球面内，维持拍摄面的法线方向始终朝向点光源的这种取向而移动。

技术领域

本发明涉及无损检查系统，特别是涉及适合在量产现场连续地检查被检查物的微细结构的缺陷或不合格的无损自动检查系统，该被检查物是半导体封装件等薄的结构物且在内部构成有不同种类的材料。

背景技术

作为以往的无损自动检查系统，已知X射线检查装置。在以往的X射线检查装置中，即使能够进行可以用平面图案投影X射线的范围内的检查，也难以检测半导体封装件等微细的立体结构(3D结构)中的机械性或物理性的不合格或缺陷。

特别是，在如帘状引线框那样的薄且面积大的被检查物的情况下，难以进行控制使得被检查物的关注位置不与透射图像视野偏离，而且，难以进行控制使得不产生由测量精度的测量部位所带来的偏差。为了检测立体结构的不合格或缺陷，提出了需要使X射线倾斜入射，并将X射线管和与该X射线管相对的X射线检查器搭载于回旋臂进行回旋的发明(参照专利文献1。)。专利文献1所记载的发明的X射线管使用焦点F的微聚焦X射线管，并使用以焦点F为顶点的圆锥形X射线束。在专利文献1所记载的发明中，为了使被检查物(受检体)上的关注位置不会随着通过回旋臂进行回旋而从透射图像视野偏离，需要使用依靠复杂的公式的位置校正值来进行回旋视野偏离校正。

但是，即使根据专利文献1所记载的发明，在引线框的连续体等立体结构的主表面(最大的平面)的面积大的被检查物的情况下，也会产生由检查位置所带来的测量精度的偏差。另外，通过专利文献1所记载的发明，无法检测键合线从IC芯片的键合焊盘的微米级浮起或断线等立体且微细的不合格。进而，在检查面积大的被检查物的情况下，若是使回旋臂回旋的方式，需要附加使回旋臂的回旋轴沿着大的主表面平行移动来进行扫掠等的复杂的机构，无损自动检查系统变得大型且昂贵，也无法避免其故障的发生。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：特开2001-281168公报(图1)

发明内容

发明要解决的技术问题

鉴于上述问题，本发明的目的在于提供小型且安全的无损自动检查系统，即使是呈微细且复杂的内部结构且主表面的面积大的被检查物，该检查系统也能够不伴有由检查位置所带来的测量精度的偏差地、高效且准确地以无损方式检查立体的微细缺陷或不合格。

用于解决技术问题的技术方案

本发明的方式的主旨是一种非接触自动检查系统，其具备检查单元，所述检查单元具有：(a)检查线产生部，从点光源对平板状的被检查物射出检查线；(b)检查工作台，为了定义被检查物的期望检查点处的来自点光源的检查线倾斜入射的检查角度，所述检查工作台能够搭载被检查物并沿着三维正交坐标系(X-Y-Z正交坐标系)平移移动；以及(c)图像传感器，为了拍摄基于以检查角度入射到被检查物并透射过被检查物的检查线而形成的被检查物的图像，而以点光源的位置为极坐标的中心并在该极坐标的中心所定义的球面内，维持拍摄面的法线方向始终朝向点光源的这种取向而移动。

发明效果

根据本发明，能够提供小型且安全的无损自动检查系统，即使是呈微细且复杂的内部结构且主表面的面积大的被检查物，该检查系统也能够不伴有由检查位置所带来的测量精度的偏差地、高效且准确地以无损方式检查立体的微细缺陷或不合格。

附图说明