[发明专利]感光性树脂组合物、图案固化物的制造方法、固化物、层间绝缘膜、覆盖涂层、表面保护膜及电子部件

权利要求书

1.一种感光性树脂组合物，其含有：

(A)聚酰亚胺前体、

(B)聚合性单体、

(C)光聚合引发剂、

(D)防锈剂、

(E)抗氧化剂、

(F)环化催化剂、以及

(G)溶剂。

2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，所述(A)成分具有聚合性不饱和键。

3.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，所述(A)成分为具有下述式(1)所示的结构单元的聚酰亚胺前体，

[化34]

式(1)中，X₁为具有1个以上芳香族基团的4价基团，-COOR₁基与-CONH-基彼此处于邻位，-COOR₂基与-CO-基彼此处于邻位，Y₁为2价芳香族基团，R₁和R₂各自独立地为氢原子、下述式(2)所示的基团或碳原子数1～4的脂肪族烃基，R₁和R₂的至少一方为所述式(2)所示的基团，

[化35]

式(2)中，R₃～R₅各自独立地为氢原子或碳原子数1～3的脂肪族烃基，m为1～10的整数。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的感光性树脂组合物，所述(B)成分包含具有脂肪族环状骨架的聚合性单体。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的感光性树脂组合物，所述(B)成分具有包含聚合性不饱和双键的基团。

6.根据权利要求5所述的感光性树脂组合物，所述(B)成分为具有包含2个以上聚合性不饱和双键的基团的聚合性单体。

7.根据权利要求1～5中任一项所述的感光性树脂组合物，所述(B)成分包含下述式(3)所示的聚合性单体，

[化36]

式(3)中，R₆和R₇各自独立地为碳原子数1～4的脂肪族烃基或下述式(4)所示的基团，n1为0或1，n2为0～2的整数，n1+n2大于或等于1，n1个R₆和n2个R₇的至少一者为下述式(4)所示的基团，

[化37]

式(4)中，R₉～R₁₁各自独立地为氢原子或碳原子数1～3的脂肪族烃基，l为0～10的整数。

8.根据权利要求7所述的感光性树脂组合物，n1+n2为2或3。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的感光性树脂组合物，所述(B)成分包含下述式(5)所示的聚合性单体，

[化38]

10.根据权利要求1～9中任一项所述的感光性树脂组合物，所述(F)成分为选自由N-苯基二乙醇胺、N-甲基苯胺、N-乙基苯胺、N,N’-二甲基苯胺、N-苯基乙醇胺、4-苯基吗啉和2,2’-(4-甲基苯基亚氨基)二乙醇所组成的组中的一种以上。

11.根据权利要求1～9中任一项所述的感光性树脂组合物，所述(F)成分包含下述式(17)所示的化合物，

[化39]

式(17)中，R_31A～R_33A各自独立地为氢原子、1价脂肪族烃基、具有羟基的1价脂肪族烃基或1价芳香族基团，R_31A～R_33A的至少一者为1价芳香族基团，R_31A～R_33A可以由相邻的基团彼此形成环。

12.根据权利要求1～11中任一项所述的感光性树脂组合物，其进一步包含(H)热聚合引发剂。