[发明专利]将电子元件从第一载体转移到第二载体在审
申请号: | 201980060919.0 | 申请日: | 2019-08-23 |
公开(公告)号: | CN112740388A | 公开(公告)日: | 2021-04-30 |
发明(设计)人: | 马塞尔·弗赖穆特;亚历山大·鲁兰 | 申请(专利权)人: | 米尔鲍尔有限两合公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/683;H01L21/68;G06K19/077;H05K13/04;H05K13/00 |
代理公司: | 北京华夏正合知识产权代理事务所(普通合伙) 11017 | 代理人: | 韩登营 |
地址: | 德国罗*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电子元件 第一 载体 转移 第二 | ||
1.一种用于将电子元件(B)从第一载体(W)转移到第二载体(BM)的装置,其中
-所述第一载体(W)与其可分离地承载多个单片化元件,
-所述第二载体(BM)配置成几乎是无穷的,并且在其纵向延伸部分和横向延伸部分中承载多个电子子组件(ANT),所述多个元件中的一个要从所述第一载体(W)分别转移到所述多个子组件,并且其中所述装置包括:
-第一容器(A1),其设计成接收所述第一载体(W);
-第二容器(A2),其设计用于在所述第二载体(BM)的传送方向上沿着所述第二载体(BM)的纵向延伸部分引导所述第二载体(BM)的目的;其中
-所述第一容器(A1)设计成接收所述第一载体(W),使得由所述第一容器(A1)支承的所述多个元件(B)朝向所述第二容器(A2)定向;
-分离装置(TE),其设计成通过接触或没有接触地将所述多个元件(B)与所述第一载体(W)分离以将所述多个元件(B)转移至所述第二载体(BM);
-第一传送装置(F1),其设置和设计成相对于所述第二容器(A2)横向于所述第二载体(BM)的传送方向移动所述第一容器(A1);
-第二传送装置(F2),其设置和设计成相对于所述第二容器(A2)横向于所述第二载体(BM)的传送方向移动所述分离装置(TE);
-第一检查装置(I1),其设置和设计成检测所述多个元件中的至少一个相对于引导所述第二载体(BM)的所述第二容器(A2)上的存放位置(AP)所处的位置;
-第二检查装置(I2),其布置在所述存放位置(AP)的上游,并且设置和设计成检测所述第二载体(BM)上的所述多个电子子组件(ANT)中的至少一个相对于所述第二容器(A2)所处的位置,并且将表示所检测到的位置的信息发送给控制器;
-第三传送装置(F3),其设置和设计成响应于由所述控制器发送的信息,将所述第二载体(BM)传送到其相对于所述存放位置(AP)所处的位置,使得所述第二载体(BM)上的所述多个电子子组件(ANT)中的至少一个到达引导所述第二载体(BM)的所述第二容器(A2)上的所述存放位置(AP)。
2.根据权利要求1的用于转移电子元件(B)的装置(100),所述装置(100)在元件组装之前检测所述第二载体(BM)上的所述存放位置(AP),其中,所述第二检查装置(I2)直接检测在所述第二载体(BM)本身上的相应的元件存放点,然后在控制下将所述第二载体(BM)传送到所述存放位置(AP),使得所述元件存放点与待存放的所述元件(B)在所述第一载体(W)上的位置对准,然后所述分离装置(TE)从所述第一载体(W)上分离该元件(B)使得该元件(B)被转移至所述第二载体(BM)。
3.根据权利要求1或2的用于转移电子元件(B)的装置(100),其中,
-具有所述第一载体(W)的所述第一容器(A1)直接布置在所述第二载体(BM)上的所述第二载体(BM)的上方,并且所述第一容器(A1)和所述分离装置(TE)具有横向于所述第二载体(BM)的所述传送方向的移动空间,所述移动空间至少大致对应于所述第二载体(BM)的宽度。
4.根据权利要求1至3任一项中所述的用于转移电子元件(B)的装置(100),其中,
-所述第一载体(W)具有面对所述分离装置(TE)的第一侧和背对所述分离装置的面对所述第二容器(A2)上/处的所述第二载体(BM)的第二侧,其中可拆卸地安装在所述第一载体(A1)的所述第二侧上的是所述多个元件;
-所述第一检查装置(I1)设计成捕获一区域的图像数据,所述分离装置(TE)设计成在该区域中通过接触或没有接触地与所述多个元件的至少一个元件相互作用,以从所述第一载体(W)分离该至少一个元件;
-所述控制器设计成根据所捕获的图像数据确定待转移的元件的位置数据,并且基于所述位置数据生成用于所述分离装置(TE)和相应传送装置(F1、......、Fn)的控制命令。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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