[发明专利]双(烷基四甲基环戊二烯基)锌、化学蒸镀用原料和含锌薄膜的制备方法

说明书

提供：为用于形成含锌薄膜的化学蒸镀用原料，由于在室温下为液体，所以容易处理的、用下述式(1)表示的双(烷基四甲基环戊二烯基)锌(在式(1)中，R¹和R²表示碳原子数为3的烷基)，以及含有用下述式(2)表示的双(烷基四甲基环戊二烯基)锌(在式(2)中，R³和R⁴表示碳原子数为2~5的烷基)的化学蒸镀用原料；和利用化学蒸镀法的含锌薄膜的制备方法。···(1)或(2)。

技术领域

本发明涉及化学蒸镀用的有机锌化合物和化学蒸镀原料。

背景技术

透明导电膜由于其特性，有平板显示器、太阳能电池、触摸屏、热射线反射膜、透明加热器、透明电磁波屏障和抗静电膜等多种用途。作为用于这些透明导电膜的材料，在氧化锌中掺杂有铝、镓、铟和硼等金属元素和氟等卤素元素的材料由于导电膜成膜温度低，且电特性、光学特性和耐氢等离子体特性优异，所以最多地将氧化锌系薄膜用作透明导电膜。

氧化锌系薄膜可通过溅射等物理蒸镀法(PVD)或原子层沉积法(ALD)等化学蒸镀法(CVD)形成。其中，在化学蒸镀法中，通过将化学蒸镀用原料以气体的状态输送至设置有基板的反应室中，在基板上进行热分解、化学反应或光化学反应等，从而沉积具有所希望的组成的薄膜。例如，在热分解中，使化学蒸镀用原料与加热至比该原料的分解温度高的温度的基材接触，从而在基材上形成金属膜。因此，化学蒸镀用原料需要在比基板温度低的温度下能够气化，并且为了可在基板上形成均匀的膜，需要蒸气压充分高。

在专利文献1中，作为用于氧化锌系薄膜的蒸镀的前体，公开了二茂锌(zincocene)或其衍生物。专利文献1提供具有优异的热稳定性和化学稳定性以及高蒸气压的新的化学蒸镀用原料，公开了只改变反应气体或蒸镀温度等条件，就可形成碳等杂质少的高纯度的氧化锌系薄膜。

但是，这些化合物在室温下为固体，在化学蒸镀工序中，需要在熔化后使其气化，或由固体升华为气体。因此，必须将固体加热至熔化温度附近，来使其形成气体状，还需要将到反应室的配管和反应室保持在原料温度以上且低于热分解温度，存在操作繁琐的问题。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2013-108178号公报。

发明内容

发明所要解决的课题

本发明的课题在于，提供双(烷基四甲基环戊二烯基)锌，其是用于形成含锌薄膜的化学蒸镀用原料，在室温下为液体，从而容易处理。

解决课题的手段

本发明是要解决上述现有技术中的课题的发明，包含以下事项。

本发明的双(烷基四甲基环戊二烯基)锌的特征在于，用下述式(1)表示。

[化1]

···(1)

其中，在式(1)中，R¹和R²表示碳原子数为3的烷基。

本发明的化学蒸镀用原料的特征在于，含有用下述式(2)表示的双(烷基四甲基环戊二烯基)锌作为主成分。

[化2]

···(2)

其中，在式(2)中，R³和R⁴表示碳原子数为2~5的烷基。

上述化学蒸镀用原料优选在23℃下为液体。

本发明的含锌薄膜的制备方法的特征在于，使用含有用下述式(2)表示的双(烷基四甲基环戊二烯基)锌作为主成分、且在23℃下为液体的化学蒸镀用原料，通过化学蒸镀法形成。

[化3]

···(2)