[发明专利]双(烷基四甲基环戊二烯基)锌、化学蒸镀用原料和含锌薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 201980058250.1 | 申请日： | 2019-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN112639163A | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 高桥伸尚;水谷文一 | 申请（专利权）人： | 株式会社高纯度化学研究所 |
| 主分类号： | C23C16/18 | 分类号： | C23C16/18;C07F17/00;H01L21/285;H01L21/288 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 童春媛;杨思捷 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 烷基 甲基 环戊二烯基 化学 蒸镀用 原料 含锌 薄膜 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.用下述式(1)表示的双(烷基四甲基环戊二烯基)锌：
[化1]
···(1)
在式(1)中，R1和R2表示碳原子数为3的烷基。
2.化学蒸镀用原料，其含有用下述式(2)表示的双(烷基四甲基环戊二烯基)锌作为主成分：
[化2]
···(2)
在式(2)中，R3和R4表示碳原子数为2~5的烷基。
3.根据权利要求2所述的化学蒸镀用原料，其在23℃下为液体。
4.含锌薄膜的制备方法，其使用含有用下述式(2)表示的双(烷基四甲基环戊二烯基)锌作为主成分、且在23℃下为液体的化学蒸镀用原料，通过化学蒸镀法形成：
[化3]
···(2)
在式(2)中，R3和R4表示碳原子数为2~5的烷基。
5.根据权利要求4所述的含锌薄膜的制备方法，其中，所述化学蒸镀法为原子层沉积法。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
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C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
