[发明专利]感光性树脂组合物、树脂片、固化膜、有机EL显示装置、半导体电子部件、半导体器件、及有机EL显示装置的制造方法

说明书

本发明涉及敏感度高并且固化膜的耐弯折性高、将固化膜用于有机EL显示装置时的长期可靠性高的感光性树脂组合物。本发明为含有碱溶性树脂(a)、具有卤素原子的酚醛树脂(b)及感光性化合物(c)的感光性树脂组合物。

技术领域

本发明涉及含有碱溶性树脂、具有卤素原子的酚醛树脂及感光性化合物的感光性树脂组合物。

背景技术

智能电话、平板PC及电视机等具有薄型显示器的显示装置中，开发了大量使用有机电致发光(以下，称为“有机EL”)显示装置的制品。

通常，有机EL显示装置在基板上具有驱动电路、平坦化层、第一电极、绝缘层、发光层及第二电极，通过在对置的第一电极与第二电极之间施加电压，从而能够发光。这些之中，作为平坦化层用材料及绝缘层用材料，通常使用能够通过照射紫外线而图案化的感光性树脂组合物。其中，使用了聚酰亚胺系、聚苯并噁唑系的树脂的感光性树脂组合物由于树脂的耐热性高、从固化膜产生的气体成分少，因此在能够提供高可靠性的有机EL显示装置的方面可优选使用(例如参见专利文献1)。

另一方面，基于基板的大型化、生产率提高等理由，为了缩短曝光时间，对感光性树脂组合物要求更高的敏感度。

作为能够高敏感度化的感光性树脂组合物，研究了在聚酰亚胺树脂或聚苯并噁唑树脂中混合Novolac树脂、聚羟基苯乙烯树脂(例如，参见专利文献2)。但是，通常的Novolac树脂、聚羟基苯乙烯树脂存在耐热性及机械特性低这样的课题。

近年来，在树脂膜基板上形成的柔性有机EL显示装置的开发盛行。柔性有机EL显示装置在结构上具有可弯曲的部分及/或以弯曲的状态固定化的部分，该弯曲部分对平坦化层、绝缘层施加有弯曲应力。在包含这样的弯曲部分的柔性有机EL显示装置中，对平坦化层用材料及绝缘层用材料，要求高的耐弯折性。因此，强烈期望开发出能够以高敏感度进行图案化、且能够得到耐弯折性高的固化膜的感光性树脂组合物。

针对这些课题，例如，提出了制作含有使用了双酚A的Novolac树脂、和聚酰胺树脂、邻醌二叠氮化合物的树脂组合物的方法(例如，参见专利文献3)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2002-91343号公报

专利文献2：日本特开2008-268788号公报

专利文献3：日本特开2015-187668号公报

发明内容

发明要解决的课题

然而，就专利文献3记载的方法中得到的感光性树脂组合物而言，虽然敏感度及固化膜的机械特性提高，但判明了将固化膜用于有机EL显示装置时,会有长期可靠性不充分的课题。针对有机EL显示装置的高可靠化要求逐年变严，对于平坦化层用材料及绝缘层用材料，也要求在高温、高湿、光照射这样的加速条件下的可靠性试验后仍能够维持高的膜物性的材料。因此，本发明的课题在于提供敏感度高并且固化膜的耐弯折性高、将固化膜用于有机EL显示装置时的长期可靠性高的感光性树脂组合物。

用于解决课题的手段

本发明为含有碱溶性树脂(a)、具有卤素原子的酚醛树脂(b)及感光性化合物(c)的感光性树脂组合物。

发明的效果

就本发明的感光性树脂组合物而言，能够得到敏感度高并且固化膜的耐弯折性高、将固化膜用于有机EL显示装置时的长期可靠性高的感光性树脂组合物。

附图说明

[图1]为TFT基板的一例的截面图。

[图2]为具有凸块的半导体器件的焊盘部分的一例的放大截面图。