[发明专利]感光性树脂组合物、树脂片、固化膜、有机EL显示装置、半导体电子部件、半导体器件、及有机EL显示装置的制造方法在审
申请号: | 201980057501.4 | 申请日: | 2019-09-04 |
公开(公告)号: | CN112654927A | 公开(公告)日: | 2021-04-13 |
发明(设计)人: | 小森悠佑;三好一登 | 申请(专利权)人: | 东丽株式会社 |
主分类号: | G03F7/023 | 分类号: | G03F7/023;G03F7/004;G03F7/20;H01L27/32;H01L51/50;H05B33/02;H05B33/10 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 杨宏军 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 感光性 树脂 组合 固化 有机 el 显示装置 半导体 电子 部件 半导体器件 制造 方法 | ||
1.感光性树脂组合物,其具有:碱溶性树脂(a);具有卤素原子的酚醛树脂(b);和感光性化合物(c)。
2.如权利要求1所述的感光性树脂组合物,其中,所述具有卤素原子的酚醛树脂(b)具有通式(1)及/或通式(2)表示的结构单元,
[化学式1]
通式(1)及(2)中,A表示具有卤素原子的二价取代基;R1、R2、R5、R6各自独立地表示氢原子或可被取代的碳原子数1~10的烃基、羟甲基、烷氧基甲基;R3、R4、R7、R8各自独立地表示氢原子或可被取代的碳原子数1~10的烃基;p表示0~2的整数,q表示0~4的整数,r及s表示0~3的整数。
3.如权利要求1或2所述的感光性树脂组合物,其中,所述具有卤素原子的酚醛树脂(b)的卤素原子包含氟原子。
4.如权利要求2所述的感光性树脂组合物,其中,所述通式(1)及/或通式(2)中的A为-C(CF3)2-。
5.如权利要求1~4中任一项所述的感光性树脂组合物,其中,所述碱溶性树脂(a)包含聚酰亚胺、聚苯并噁唑、聚酰胺酰亚胺、它们中任一者的前体及/或它们的共聚物。
6.如权利要求1~5中任一项所述的感光性树脂组合物,其中,相对于所述碱溶性树脂(a)100质量份而言,所述具有卤素原子的酚醛树脂(b)的含量为10~100质量份。
7.如权利要求1~6中任一项所述的感光性树脂组合物,其中,相对于构成所述具有卤素原子的酚醛树脂(b)的全部重复单元100摩尔%而言,所述具有卤素原子的酚醛树脂(b)具有50~100摩尔%的通式(1)及/或通式(2)表示的结构作为重复单元。
8.如权利要求1~7中任一项所述的感光性树脂组合物,其中,相对于所述碱溶性树脂(a)与所述树脂(b)的合计100质量份而言,所述感光性化合物(c)的含量为25~100质量份。
9.如权利要求1~8中任一项所述的感光性树脂组合物,其中,所述感光性化合物(c)含有醌二叠氮化合物。
10.如权利要求1~9中任一项所述的感光性树脂组合物,其还包含热交联剂(d)。
11.如权利要求1~9中任一项所述的感光性树脂组合物,其还包含分子量为100以上且小于500的酚化合物(e),所述酚化合物(e)具有吸电子基团和酚式羟基。
12.感光性树脂片,其由权利要求1~11中任一项所述的感光性树脂组合物形成。
13.固化膜,其是将权利要求1~11中任一项所述的感光性树脂组合物或权利要求12所述的感光性树脂片固化而得到的。
14.有机EL显示装置,其在基板上具有驱动电路、平坦化层、第1电极、绝缘层、发光层、第2电极,所述平坦化层及/或绝缘层包含权利要求13所述的固化膜。
15.如权利要求14所述的有机EL显示装置,其中,所述基板包含树脂膜。
16.如权利要求14或15所述的有机EL显示装置,其中,所述平坦化层及/或绝缘层的至少一部分具有可弯曲的部分及/或以弯曲的状态固定化的部分,所述可弯曲的部分及/或以弯曲的状态固定化的部分的曲率半径在0.1mm以上且5mm以下的范围内。
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