[发明专利]固态图像传感器

权利要求书

1.一种固态图像传感器，包括：

第一基板，其包括光电转换单元、连接到所述光电转换单元的传输栅单元、连接到所述传输栅单元的浮动扩散单元以及覆盖所述光电转换单元、所述传输栅单元和所述浮动扩散单元的绝缘膜；和

第二基板，其包括第一晶体管并且配置为与所述绝缘膜相邻，所述第一晶体管构成经由所述绝缘膜连接到所述浮动扩散单元的电路的一部分并且包括背栅。

2.根据权利要求1所述的固态图像传感器，其中，

所述第一晶体管具有SOI结构。

3.根据权利要求1所述的固态图像传感器，其中，

所述第一晶体管包括连接到所述背栅的前栅。

4.根据权利要求3所述的固态图像传感器，其中，

所述背栅包括背栅电极和背栅绝缘膜，

所述前栅包括前栅电极和前栅绝缘膜，和

所述背栅绝缘膜和所述前栅绝缘膜具有不同的膜类型或不同的膜结构。

5.根据权利要求3所述的固态图像传感器，其中，

所述背栅包括背栅电极和背栅绝缘膜，

所述前栅包括前栅电极和前栅绝缘膜，和

所述背栅绝缘膜和所述前栅绝缘膜具有不同的膜质量。

6.根据权利要求1所述的固态图像传感器，其中，

所述第二基板包括连接到所述背栅的开关单元。

7.根据权利要求1所述的固态图像传感器，还包括：

配置为与所述第二基板相邻的第三基板，在所述第三基板上形成有比较器电路，所述比较器电路包括具有背栅的SOI结构的晶体管。

8.根据权利要求1所述的固态图像传感器，还包括：

配置为与所述第二基板相邻的第三基板，在所述第三基板上形成有比较器电路，所述比较器电路包括具有背栅的体硅结构的晶体管。

9.根据权利要求1所述的固态图像传感器，其中，

所述第二基板包括

构成所述电路的一部分的第二晶体管，和

形成在所述第一晶体管和所述第二晶体管之间的层间绝缘膜。

10.根据权利要求9所述的固态图像传感器，其中，

所述第二基板包括多个所述第一晶体管，和

前栅设置为在所述的多个第一晶体管的至少一部分中彼此可连接。

11.根据权利要求1所述的固态图像传感器，其中，

所述第一基板包括多个所述光电转换单元和多个所述传输栅单元。