[发明专利]低温泵及低温泵的监视方法

说明书

低温泵(10)具有气体的冷凝层的容纳空间(65)，并且具备：第1级低温板(18)，具有以包围容纳空间(65)的方式配置的第1级低温板内表面；及第2级低温板(20)，其配置成与容纳空间(65)一起被第1级低温板内表面包围。第1级热负荷从低温泵(10)的外部通过进气口(12)入射于第1级低温板内表面，气体从低温泵(10)的外部进入容纳空间(65)。第1级低温板(18)被冷却至比气体的冷凝温度更高的温度，第2级低温板(20)被冷却至气体的冷凝温度以下的温度，气体的冷凝层堆积在其上。低温泵(10)基于第1级热负荷的变化来监视容纳空间(65)内的冷凝气体量。

技术领域

本发明涉及一种低温泵及低温泵的监视方法。

背景技术

低温泵为通过冷凝或吸附将气体分子捕捉于冷却至超低温的低温板而进行排气的真空泵。低温泵通常用于实现半导体电路制造工艺等中要求的洁净的真空环境。低温泵为所谓的气体捕集式真空泵，因此，需要定期进行向外部排出已捕捉到的气体的再生。

以往技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2015-1186号公报

发明内容

发明要解决的技术课题

在低温泵通常设置有温度互不相同的两种低温板。低温的低温板例如被冷却至约20K以下的冷却温度以使例如氩气或氮气等蒸气压比较高的气体冷凝在其表面，高温的低温板被冷却至例如约80K以上的冷却温度以免上述气体冷凝。随着低温泵的使用，气体的冷凝层在低温低温板上成长，最终会与高温低温板接触。如此一来，气体在高温低温板与冷凝层接触的部位再次气化而释放到周围。之后，低温泵无法充分发挥原有的作用。因此，高温低温板与冷凝层接触时存在于低温低温板上的冷凝层提供低温泵所能捕集到的气体的最大量(还称为吸留极限或最大吸留量)。

本发明的一种实施方式的例示性目的之一在于提供一种用于在低温泵的使用期间预测低温泵所捕集到的气体的量接近吸留极限的情况的技术。

用于解决技术课题的手段

根据本发明的一种实施方式，提供一种具有气体的冷凝层的容纳空间的低温泵。低温泵具备：第1级低温板，被冷却至比所述气体的冷凝温度更高的温度，且其具有以包围所述容纳空间的方式配置的第1级低温板内表面；第2级低温板，被冷却至所述气体的冷凝温度以下的温度，并且所述气体的冷凝层堆积在其上，所述第2级低温板配置成其与所述容纳空间一起被所述第1级低温板内表面包围；低温泵进气口，容许从所述低温泵的外部入射至所述第1级低温板内表面的第1级热负荷通过及从所述低温泵的外部进入所述容纳空间的所述气体通过；及第2级低温板监视部，基于所述第1级热负荷的变化来监视所述容纳空间内的冷凝气体量。

根据本发明的一种实施方式，提供一种低温泵的监视方法。所述低温泵具备：第1级低温板，具有以包围气体的冷凝层的容纳空间的方式配置的第1级低温板内表面；及第2级低温板，其配置成与所述容纳空间一起被所述第1级低温板内表面包围。所述方法包括如下步骤：将所述第1级低温板冷却至比所述气体的冷凝温度更高的温度，并且将所述第2级低温板冷却至所述气体的冷凝温度以下的温度的步骤；使从所述低温泵的外部通过低温泵进气口而进入所述容纳空间的所述气体的冷凝层堆积在所述第2级低温板的步骤；及基于从所述低温泵的外部通过所述低温泵进气口而入射于所述第1级低温板内表面的第1级热负荷的变化来监视所述容纳空间内的冷凝气体量的步骤。

另外，以上构成要件的任意组合或在方法、装置、系统等之间相互置换本发明的构成要件和表现的方式也作为本发明的方式而有效。

发明效果

根据本发明，能够在低温泵的使用期间预测低温泵所捕集到的气体的量接近吸留极限的情况。

附图说明

图1是概略地表示一种实施方式所涉及的低温泵的图。