[发明专利]低温泵及低温泵的监视方法

权利要求书

1.一种低温泵，其具有气体的冷凝层的容纳空间，所述低温泵的特征在于，具备：

第1级低温板，被冷却至比所述气体的冷凝温度更高的温度，且其具有以包围所述容纳空间的方式配置的第1级低温板内表面；

第2级低温板，被冷却至所述气体的冷凝温度以下的温度，并且所述气体的冷凝层堆积在其上，所述第2级低温板配置成其与所述容纳空间一起被所述第1级低温板内表面包围；

低温泵进气口，容许从所述低温泵的外部入射于所述第1级低温板内表面的第1级热负荷通过及从所述低温泵的外部进入所述容纳空间的所述气体通过；及

第2级低温板监视部，基于所述第1级热负荷的变化来监视所述容纳空间内的冷凝气体量。

2.根据权利要求1所述的低温泵，其特征在于，

所述第2级低温板监视部在所述第1级热负荷减少时判定为所述冷凝气体量增加。

3.根据权利要求1或2所述的低温泵，其特征在于，还具备：

制冷机，具有与所述第1级低温板热连接的第1冷却台及与所述第2级低温板热连接的第2冷却台；及

第1级温度控制部，控制所述制冷机的运行频率以使所述第1级低温板冷却至第1级目标温度，

所述第2级低温板监视部将所述制冷机的运行频率与阈值进行比较，并在所述制冷机的运行频率低于所述阈值时判定为所述冷凝气体量超过了基准值。

4.根据权利要求3所述的低温泵，其特征在于，

所述第2级低温板监视部在从所述低温泵的外部入射于所述低温泵进气口的辐射热成为了规定值的时刻获取所述制冷机的运行频率，并将所获取的所述制冷机的运行频率与所述阈值进行比较。

5.根据权利要求4所述的低温泵，其特征在于，

还设置有关闭所述低温泵进气口的闸阀，

所述时刻设定在所述闸阀关闭的期间。

6.根据权利要求3所述的低温泵，其特征在于，还具备：

冷凝气体量表，将所述冷凝气体量的多个值分别与所述制冷机的运行频率的值建立对应关联，

所述第2级低温板监视部基于所述制冷机的运行频率和所述冷凝气体量表计算出所述冷凝气体量的估计值。

7.根据权利要求1或2所述的低温泵，其特征在于，还具备：

制冷机，具备与所述第1级低温板热连接的第1冷却台、对所述第1冷却台进行加热的加热器及与所述第2级低温板热连接的第2冷却台；及

第1级温度控制部，控制所述加热器的功率以使所述第1级低温板冷却至第1级目标温度，

所述第2级低温板监视部将所述加热器的功率与阈值进行比较，并在所述加热器的功率低于所述阈值时判定为所述冷凝气体量超过了基准值。

8.根据权利要求1或2所述的低温泵，其特征在于，还具备：

制冷机，具有与所述第1级低温板热连接的第1冷却台及与所述第2级低温板热连接的第2冷却台；及

第1级温度控制部，控制所述制冷机的运行参数以使所述第1级低温板冷却至第1级目标温度，

所述第2级低温板监视部从所述第1级温度控制部获取所述制冷机的运行参数并将所述制冷机的运行参数与阈值进行比较从而判定所述冷凝气体量是否超过了基准值。

9.根据权利要求8所述的低温泵，其特征在于，

所述第2级低温板监视部在从所述低温泵的外部入射于所述低温泵进气口的辐射热成为了规定值的时刻获取所述制冷机的运行参数，并将所获取的所述制冷机的运行参数与所述阈值进行比较。

10.根据权利要求8所述的低温泵，其特征在于，还具备：

冷凝气体量表，将所述冷凝气体量的多个值分别与所述制冷机的运行参数的值建立对应关联，

所述第2级低温板监视部基于所述制冷机的运行参数和所述冷凝气体量表计算出所述冷凝气体量的估计值。