[发明专利]用于检查和/或处理样品的设备和方法

权利要求书

1.一种用于检查和/或处理样品(400、2010)的设备(2400、2600)，所述设备(2400、2600)包括：

a.用于提供带电粒子束(840)的扫描粒子显微镜(2410)，所述带电粒子束能够被指引在所述样品(400、2010)的表面上；和

b.具有可偏转探针(200、500、800、900、1000、1100、1200、1300、1500、1600、1640、1670、2600)的扫描探针显微镜(2470)；

c.其中，检测结构(230、530、1030、1130、1230、1330、1530、1630、1690、2630)附接到所述可偏转探针(200、500、800、900、1000、1100、1200、1300、1500、1600、1640、1670、2600)。

2.根据权利要求1所述的设备(2400)，其中，所述扫描粒子显微镜(2410)配置为实行以下组中的至少一个要素：将所述带电粒子束(240)指引到所述检测结构(230、530、1030)上，在所述检测结构(1330、1530、1630)之上实行所述带电粒子束的线扫描，以及在所述检测结构(1130、1230、1690)之上扫描所述带电粒子束(1140)。

3.根据前述权利要求中任一项所述的设备(2400、2600)，其中，所述检测结构(230、530、1030、1130、1230、1330、1530、1630、1690、2630)的材料成分不同于所述可偏转探针(200、500、800、900、1000、1100、1200、1300、1500、1600、1640、1670、2600)的材料成分。

4.根据前述权利要求中任一项所述的设备(2400)，其中，所述检测结构(530、1130、1230、1530、1690)具有圆柱形、圆锥形、杆状或n边形的结构，其中n≥3。

5.根据前述权利要求中任一项所述的设备(2400)，其中，所述检测结构(530)包括具有不同原子数的至少两个分开的、相邻材料(533、536)。

6.根据前述权利要求中任一项所述的设备(2400)，其中，所述检测结构(230、1030)包括检测区域(230、1030)，所述检测区域配置为优化带电二次电子(260)和/或背向散射电子(560)的发射。

7.根据权利要求1-5中任一项所述的设备(2400)，其中，所述检测结构(530、1330、1530、1630)包括至少一个面状元件(530、1330、1530、1630)，并且其中，所述面状元件(530、1330、1530、1630)的法向矢量被指引为实质上平行于所述可偏转探针(500、1300、1500、1600)的纵轴。

8.根据权利要求7所述的设备(2400)，其中，所述检测结构(1330)包括至少两个面状元件(1340、1360)，所述面状元件沿着所述可偏转探针(1300)的纵轴布置。

9.根据前述权利要求中任一项所述的设备(2400)，其中，所述检测结构(1130、1230、1690)包括至少一个标记(1130、1240、1260、1690)。

10.根据权利要求1所述的设备(2600)，还包括光学光指针系统(2650)，其中，所述检测结构(2630)包括反射结构(2630)，所述反射结构配置为反射所述光学光指针系统(2650)的光学辐射，并且其中，所述反射结构(2630)相对于所述可偏转探针(2600)的前侧(115)以不同于零的角度布置。

11.根据前述权利要求中任一项所述的设备(2400、2600)，其中，所述探针(800、900)具有开口(820)，所述开口实施为使得所述带电粒子束(840)能够通过所述开口(820)被指引到所述样品(400，2010)上。