[发明专利]摄像装置和电子设备在审
申请号: | 201980049688.3 | 申请日: | 2019-07-19 |
公开(公告)号: | CN112534579A | 公开(公告)日: | 2021-03-19 |
发明(设计)人: | 町田贵志 | 申请(专利权)人: | 索尼半导体解决方案公司 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146;H04N5/374 |
代理公司: | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人: | 姚鹏;曹正建 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 摄像 装置 电子设备 | ||
提供一种能够将电荷从光电转换单元平稳地传输至传输目的地的摄像装置。该摄像装置设置有:半导体层,具有前表面和位于与前表面相反侧的后表面;光电转换单元,被埋设在半导体层中,并且通过光电转换产生与所接收的光量相对应的电荷;和传输单元,包括第一沟槽栅极和第二沟槽栅极,并且传输单元经由第一沟槽栅极和第二沟槽栅极将所述电荷从光电转换单元传输至相同的传输目的地,第一沟槽栅极和第二沟槽栅极分别从半导体层的所述前表面向着所述后表面延伸至光电转换单元。所述第一沟槽栅极具有从所述前表面至所述光电转换单元的第一长度,并且所述第二沟槽栅极具有从所述前表面至所述光电转换单元的第二长度,所述第二长度比所述第一长度短。
技术领域
本公开涉及通过执行光电转换进行摄像的摄像装置和包括该摄像装置的电子设备。
背景技术
已经提出了这样的固态摄像装置:在该固态摄像装置中,在设置于半导体层中的光电转换器中产生的信号电荷通过被埋设在在该半导体层中的栅电极传输至浮动扩散部(例如,参见专利文献1)。
引用列表
专利文献
专利文献1:日本未审查专利申请公开第2013-84785号
发明内容
顺便提及地,在这种固态摄像装置中,期望电荷从光电转换器平稳地传输至传输目的地。
因此,期望提供具有优异的操作可靠性的摄像装置和包括这种摄像装置的电子设备。
根据本公开的实施例的摄像装置包括:半导体层,其具有前表面和后表面,所述后表面位于所述前表面的相反侧;光电转换器,其被埋设在所述半导体层中,并且通过光电转换产生与所接收的光量相对应的电荷;和传输部,其包括第一沟槽栅极和第二沟槽栅极,并且所述传输部经由所述第一沟槽栅极和所述第二沟槽栅极将所述电荷从所述光电转换器传输至相同的传输目的地,所述第一沟槽栅极和所述第二沟槽栅极分别从所述半导体层的所述前表面向着所述后表面延伸至所述光电转换器。所述第一沟槽栅极具有从所述前表面至所述光电转换器的第一长度,并且所述第二沟槽栅极具有从所述前表面至所述光电转换器的第二长度,所述第二长度比所述第一长度短。
此外,根据本公开的实施例的电子设备包括上述摄像装置。
如上所述,在分别具有上述构造的根据本公开的实施例的摄像装置和电子设备中,即使在传输部处于关断状态时光电转换器中存在电位突降,但是在传输部处于导通状态时就能消除电位突降。
根据本公开的实施例的摄像装置和电子设备,电荷从光电转换器平稳地传输至传输目的地,并且能够实现优异的摄像性能。
应注意,本公开的效果不限于上述效果,并且可以包括以下说明的任何效果。
附图说明
图1A是示出根据本公开的第一实施例的摄像装置的功能的构造示例的框图。
图1B是示出根据第一实施例的第一变形例的摄像装置的功能的构造示例的框图。
图1C是示出根据第一实施例的第二变形例的摄像装置的功能的构造示例的框图。
图2是示出图1A所示的摄像装置中包括的一个传感器像素的电路构造的电路图。
图3是图1A所示的摄像装置中包括的传感器像素的一部分的构造的示意性平面图。
图4是图1A所示的摄像装置中包括的传感器像素的一部分的构造的示意性横截面图以及在深度方向上的电位状态的示意图。
图5是根据第一实施例的第三变形例的传感器像素的平面图。
图6是根据第一实施例的第四变形例的传感器像素的平面图。
图7是根据第一实施例的第五变形例的传感器像素的平面图。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的