[发明专利]检查用导电薄片

权利要求书

1.一种导电薄片，被配置于检查装置与被检查器件之间，所述导电薄片包括：

第1薄片，所述第1薄片包括垂直方向的多个第1弹性导电部、以及使所述多个第1弹性导电部在水平方向上隔开并且绝缘的第1弹性绝缘部，至少一个所述第1弹性导电部具有相对于所述第1弹性绝缘部沿所述垂直方向突出的突出部；以及

第2薄片，所述第2薄片包括所述垂直方向的多个第2弹性导电部、以及使所述多个第2弹性导电部在所述水平方向上隔开并且绝缘的第2弹性绝缘部，至少一个所述第2弹性导电部具有相对于所述第2弹性绝缘部沿所述垂直方向凹陷的凹陷部，以使所述突出部在所述垂直方向上嵌合于所述至少一个第2弹性导电部；并且

所述第1薄片与所述第2薄片沿所述垂直方向积层。

2.如权利要求1所述的导电薄片，其中所述第1弹性绝缘部具有沿所述水平方向延伸的第1水平面，所述第2弹性绝缘部具有沿所述水平方向延伸并且与所述第1水平面相对的第2水平面，

所述突出部相对于所述第1水平面突出，所述凹陷部相对于所述第2水平面凹陷，

所述第1水平面与所述第2水平面彼此接合。

3.如权利要求2所述的导电薄片，所述导电薄片进一步包括第3薄片，所述第3薄片包括所述垂直方向的多个第3弹性导电部、以及使所述多个第3弹性导电部在所述水平方向上隔开并且绝缘的第3弹性绝缘部，并且所述第3薄片配置于所述第1薄片与所述第2薄片之间，

至少一个所述第3弹性导电部在沿所述垂直方向相对的一端和另一端中的一者具有嵌合所述第1薄片的突出部的凹陷部，并且在所述一端和另一端中的另一者具有嵌合至所述第2薄片的凹陷部的突出部。

4.如权利要求3所述的导电薄片，其中，

所述第3弹性绝缘部具有沿所述垂直方向隔开的一对第3水平面，

所述至少一个第3弹性导电部的凹陷部位于所述一对第3水平面中的一者，所述至少一个第3弹性导电部的突出部位于所述一对第3水平面中的另一者，

所述第1水平面与所述一对第3水平面中的一者接合，所述第2水平面与所述一对第3水平面中的另一者接合。

5.如权利要求1所述的导电薄片，其中，

所述突出部具有相对于所述突出部的中心轴倾斜的倾斜部，

所述凹陷部具有相对于所述凹陷部的中心轴倾斜并且与所述突出部的倾斜部接触的倾斜部。

6.如权利要求1所述的导电薄片，其中所述多个第1弹性导电部具有所述突出部，所述多个第2弹性导电部具有所述凹陷部。

7.如权利要求6所述的导电薄片，其中所述凹陷部具有所述突出部的高度的10％至100％的深度。

8.如权利要求1所述的导电薄片，其中，

所述第1弹性绝缘部具有与所述至少一个第1弹性导电部的突出部邻接的突出部，

所述第2弹性绝缘部具有与所述至少一个第2弹性导电部的凹陷部邻接并且嵌合所述第1弹性绝缘部的突出部的凹陷部。

9.如权利要求1所述的导电薄片，其中所述第1弹性导电部和所述第2弹性导电部包括沿所述垂直方向排列的多个导电性粒子。

10.如权利要求1所述的导电薄片，其中所述第1弹性绝缘部和所述第2弹性绝缘部包括硅橡胶材料。

11.如权利要求2所述的导电薄片，其中所述第1水平面与所述第2水平面通过黏合剂接合。