[发明专利]检查用导电薄片

说明书

提供了一种为了检查被检查器件而配置于检查装置与被检查器件之间的导电薄片。导电薄片包括沿垂直方向积层的第1薄片与第2薄片。第1薄片包括垂直方向的多个第1弹性导电部、以及使多个第1弹性导电部在水平方向上隔开并且绝缘的第1弹性绝缘部。至少一个第1弹性导电部具有相对于第1弹性绝缘部沿垂直方向突出的突出部。第2薄片包括垂直方向的多个第2弹性导电部以及使多个第2弹性导电部在水平方向上隔开且绝缘的第2弹性绝缘部。至少一个第2弹性导电部具有相对于第2弹性绝缘部沿垂直方向凹陷的凹陷部，以使第1弹性导电部的突出部在垂直方向上嵌合于至少一个第2弹性导电部。

技术领域

本公开是关于一种用于检查被检查器件的导电薄片。

背景技术

为了检查被检查器件，将被检查器件与检查装置电性连接的连接器配置于被检查器件与检查装置之间。连接器将检查装置的电性测试信号传输至被检查器件，将被检查器件的响应信号传输至检查装置。作为此种连接器，正在使用弹簧针测试插座(pogo pintest socket)与导电性橡胶薄片(conductive rubber socket)。

弹簧针测试插座具有响应施加于被检查器件的外力而沿垂直方向按压的弹簧针。弹簧针测试插座必需收容弹簧针的部件，因此难以具有较薄的厚度，难以适用于被检查器件的端子的微小间距。

导电性橡胶薄片可响应施加于被检查器件的外力而弹性变形。与弹簧针测试插座相比，导电性橡胶薄片在能够以较少的制造费用制造、不使被检查器件的端子受损且具有非常薄的厚度的方面有利。因此，在被检查器件的检查领域内正在进行由导电性橡胶薄片代替弹簧针测试插座的各种尝试。

弹簧针测试插座具有比导电性橡胶薄片更厚的厚度。因此，无法通过将一个弹簧针测试插座更换为一个导电性橡胶薄片的方式用导电性橡胶薄片来代替弹簧针测试插座。为了实现代替，需进行再设计以使将弹簧针测试插座附接至检查装置的部件适于导电性橡胶薄片。也可考虑厚度为弹簧针测试插座的厚度的导电性橡胶薄片。然而，导电性橡胶薄片的厚度越厚，则导电性橡胶薄片的电阻越增加且导电性能越低，因此导电性橡胶薄片难以制成规定厚度以上。

关于以导电性橡胶薄片代替弹簧针测试插座，于韩国公开专利公报第10-2006-0123910号中提出了在一个导电性橡胶薄片的下方配置与其相似的导电薄片。然而，简单地上下配置两个导电薄片是无法解决如导电性能下降、上下配置的构件的相对位置变更的不利影响。

发明内容

[技术问题]

本公开的实施例提供了一种具有增加的厚度的积层型导电薄片。本公开的实施例提供了一种在垂直方向上对准弹性导电部的积层型导电薄片。本公开的实施例提供一种对准的弹性导电部的位置不会变更的积层型导电薄片。

解决问题的技术手段

本公开的实施例关于一种配置于检查装置与被检查器件之间而用于检查被检查器件的导电薄片。在导电薄片的一个实施例中，导电薄片包括沿垂直方向积层的第1薄片与第2薄片。

在一个实施例中，第1薄片包括垂直方向的多个第1弹性导电部、以及使多个第1弹性导电部在水平方向上隔开并且绝缘的第1弹性绝缘部。至少一个第1弹性导电部具有相对于第1弹性绝缘部沿垂直方向突出的突出部。第2薄片包括垂直方向的多个第2弹性导电部、以及使多个第2弹性导电部在水平方向上隔开并且绝缘的第2弹性绝缘部。至少一个第2弹性导电部具有相对于第2弹性绝缘部沿垂直方向凹陷的凹陷部，以使得第1弹性导电部的突出部在垂直方向上嵌合于至少一个第2弹性导电部。

在一个实施例中，第1弹性绝缘部具有沿水平方向延伸的第1水平面，第2弹性绝缘部具有沿水平方向延伸并且与第1水平面相对的第2水平面。突出部相对于第1水平面突出，凹陷部相对于第2水平面凹陷，第1水平面与第2水平面彼此接合。