[发明专利]基板处理装置以及基板处理系统

权利要求书

1.一种基板处理装置，其中，具有：

多个处理单元，根据用以规定处理的条件的规程对基板实施处理；

搬运单元，将一组基板中的多个基板依次搬运至多个所述处理单元；

多个传感器部，取得关于各个所述处理单元的基板处理的状况的一种以上的指标相关的信号；

存储部，基于多个所述传感器部所取得的信号，存储关于多个所述处理单元各自的基板处理的状况的一种以上的指标相关的数据组；以及

一个以上的控制单元，针对使用多个所述处理单元中的一个以上的处理单元对一组所述基板中的至少一个以上的基板进行的处理，基于所述数据组来修正所述规程的至少一部分。

2.如权利要求1所记载的基板处理装置，其中，

一个以上的所述控制单元针对使用多个所述处理单元对一组所述基板进行的处理，进行第一规程修正，所述第一规程修正基于所述数据组统一地修正所述规程。

3.如权利要求2所记载的基板处理装置，其中，

一个以上的所述控制单元根据进行所述第一规程修正后的所述规程，设定时间排程，所述时间排程规定通过所述搬运单元将多个所述基板依次搬运至多个所述处理单元的时机以及在多个所述处理单元中对多个所述基板实施处理的时机。

4.如权利要求1至3中任一项所记载的基板处理装置，其中，

一个以上的所述控制单元针对使用多个所述处理单元中的一部分的处理单元对一组所述基板中的一部分的基板进行的处理，进行第二规程修正，所述第二规程修正基于所述数据组修正所述规程的一部分。

5.如权利要求3中所记载的基板处理装置，其中，

一个以上的所述控制单元针对使用多个所述处理单元中的一部分的处理单元对一组所述基板中的一部分的基板进行的处理，进行基于所述数据组修正所述规程的一部分的第二规程修正，并且，一个以上的所述控制单元根据进行所述第二规程修正后的所述规程再次设定所述时间排程。

6.如权利要求2或3所记载的基板处理装置，其中，

一个以上的所述控制单元包含：

第一控制单元，进行所述第一规程修正；以及

第二控制单元，针对使用多个所述处理单元中的一部分的处理单元对一组所述基板中的一部分的基板进行的处理，进行第二规程修正，所述第二规程修正基于所述数据组修正所述规程的一部分。

7.一种基板处理系统，具有：

多个基板处理装置；以及

服务器，以能发送数据以及接收数据的方式连接至多个所述基板处理装置；

各个所述基板处理装置具有：

多个处理单元，根据用以规定处理的条件的规程对基板实施处理；

搬运单元，将一组基板中的多个基板依次搬运至多个所述处理单元；

多个传感器部，取得关于各个所述处理单元的基板处理的状况的一种以上的指标相关的信号；以及

一个以上的控制单元；

所述服务器具有：存储部，基于多个所述传感器部所取得的信号，存储关于多个所述基板处理装置各自的多个所述处理单元的基板处理的状况的一种以上的指标相关的数据组；

在各个所述基板处理装置中，一个以上的所述控制单元针对使用多个所述处理单元中的至少一个以上的处理单元对一组所述基板中的至少一片以上的基板进行的处理，基于所述数据组修正所述规程的至少一部分。