[发明专利]打线接合装置

权利要求书

1.一种打线接合装置，其特征在于包括：

超声波焊头，输入有两个超声波振动且能够以不同的频率在Y方向及与Y方向正交的X方向上对安装于前端的接合工具进行加振；以及

控制部，调整两个所述超声波振动的各振动的大小，

Y方向是所述超声波焊头的延伸方向，所述控制部通过调整两个所述超声波振动的各振动的大小来调整所述接合工具的Y方向与X方向上的振幅的比率。

2.根据权利要求1所述的打线接合装置，其特征在于，

所述接合工具将打线连接于相对于Y方向倾斜地配置的带状的电极，

且包括对所述电极的图像进行拍摄的摄像装置，

所述控制部对由所述摄像装置拍摄的所述电极的图像进行处理并计算所述电极的延伸方向相对于Y方向的角度，

且根据所计算出的所述角度来调整两个所述超声波振动的各振动的大小。

3.根据权利要求2所述的打线接合装置，其特征在于，

所述控制部调整所述各振动的大小，以使所计算出的所述角度越大，所述接合工具的Y方向上的振幅相对于X方向上的振幅的比率越小。

4.根据权利要求2所述的打线接合装置，其特征在于，

所述控制部调整所述各振动的大小，以使所述接合工具的Y方向与X方向上的振幅的比率成为所述电极的延伸方向的Y方向与X方向的比率。

5.根据权利要求3所述的打线接合装置，其特征在于，

所述控制部调整所述各振动的大小，以使所述接合工具的Y方向与X方向上的振幅的比率成为所述电极的延伸方向的Y方向与X方向的比率。

6.根据权利要求3所述的打线接合装置，其特征在于，

所述控制部对由所述摄像装置所拍摄的所述电极的图像进行处理并计算所述电极的与延伸方向成直角的方向上的所述电极的宽度，

且调整两个所述超声波振动的各振动的大小，以使所述接合工具的所述电极的与延伸方向成直角的方向上的振幅不超过所计算的所述电极的所述宽度。

7.根据权利要求4所述的打线接合装置，其特征在于，

所述控制部对由所述摄像装置所拍摄的所述电极的图像进行处理并计算所述电极的与延伸方向成直角的方向上的所述电极的宽度，

且调整两个所述超声波振动的各振动的大小，以使所述接合工具的所述电极的与延伸方向成直角的方向上的振幅不超过所计算的所述电极的所述宽度。

8.根据权利要求5所述的打线接合装置，其特征在于，

所述控制部对由所述摄像装置所拍摄的所述电极的图像进行处理并计算所述电极的与延伸方向成直角的方向上的所述电极的宽度，

且调整两个所述超声波振动的各振动的大小，以使所述接合工具的所述电极的与延伸方向成直角的方向上的振幅不超过所计算的所述电极的所述宽度。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的打线接合装置，其特征在于，

所述超声波焊头包括：振动放大部，连接有能够以两个不同的频率在Y方向上振动的超声波振动器，将从所述超声波振动器输入的Y方向上的所述超声波振动放大并传递至所述前端；以及振动转换部，将Y方向上的所述超声波振动转换为所述超声波焊头的扭转振动，

所述控制部调整所述超声波振动器的各振动的大小。

10.根据权利要求9所述的打线接合装置，其特征在于，

所述振动放大部在俯视下为多边形形状，所述振动转换部是相对于Y方向倾斜地配置的狭缝。

11.根据权利要求1至8中任一项所述的打线接合装置，其特征在于，

所述超声波焊头连接有第一超声波振动器及第二超声波振动器，所述第一超声波振动器使所述超声波焊头在Y方向上振动，所述第二超声波振动器使所述超声波焊头扭转振动，

所述控制部调整所述第一超声波振动器的振动的大小及所述第二超声波振动器的振动的大小。