[发明专利]用以清洁基板的喷头以及其制造方法

权利要求书

1.一种用以清洁基板的喷头，其特征在于包括：

上部流路部，与主孔连通；以及

下部流路部，使所述上部流路部与喷出孔连通，且

所述上部流路部的上部表面与所述下部流路部的下部表面沿上下方向彼此隔开。

2.根据权利要求1所述的用以清洁基板的喷头，其特征在于，还包括：

第一主体；以及

第二主体，以使所述第一主体的下表面与所述第二主体的上表面抵接的方式与所述第一主体的下部结合，

所述上部流路部以所述上部流路部的下部开放的状态，形成在所述第一主体的下表面，所述下部流路部以所述下部流路部的上部开放的状态，形成在所述第二主体的上表面，

所述喷出孔将所述喷出孔的上部与所述下部流路部的所述下部表面连通，并以所述喷出孔的下部开放的状态形成在所述第二主体的下表面。

3.根据权利要求2所述的用以清洁基板的喷头，其特征在于，所述上部流路部具有将所述上部流路部的端部的呈开放的下部与所述下部流路部的呈开放的上部连通的分支区间，但所述分支区间的端部被所述第一主体堵塞。

4.根据权利要求1所述的用以清洁基板的喷头，其特征在于，所述下部流路部包括彼此独立地形成且相互隔开的多个下部流路。

5.根据权利要求4所述的用以清洁基板的喷头，其特征在于，在所述多个下部流路中的每一个连通有多个所述喷出孔。

6.根据权利要求5所述的用以清洁基板的喷头，其特征在于，与所述多个下部流路中的每一个连通的多个所述喷出孔沿所述多个下部流路中的每一个的长度方向排列为一列。

7.根据权利要求1所述的用以清洁基板的喷头，其特征在于，所述上部流路部包括与所述下部流路部的一侧连通的第一上部流路部、及与所述下部流路部的相反侧连通的第二上部流路部，所述第一上部流路部与所述第二上部流路部在同一平面上彼此不连通。

8.根据权利要求1所述的用以清洁基板的喷头，其特征在于，所述上部流路部包括：

主流路，与和所述主孔连通的上下流路以彼此垂直的方式连通；以及

分支区间，与所述主流路连通，且所述分支区间的端部的下部与所述下部流路部的上部连通。

9.根据权利要求8所述的用以清洁基板的喷头，其特征在于，所述下部流路部包括多个下部流路，

通过所述上下流路、所述主流路及所述分支区间而流动至所述多个下部流路中的每一个的清洁液的流动距离相同。

10.一种用以清洁基板的喷头的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：

主体准备步骤，准备第一主体，在所述第一主体的下表面形成第一上部流路部及第二上部流路部，且在所述第一主体的上表面形成与所述第一上部流路部连通的第一主孔、及与所述第二上部流路部连通的第二主孔，准备第二主体，在所述第二主体的上表面形成有彼此独立地形成且相互隔开的多个下部流路；以及

结合步骤，以如下方式将所述第一主体的下表面与所述第二主体的上表面结合：所述多个下部流路的一侧的上部与所述第一上部流路部的第一分支区间的端部的下部连通，所述多个下部流路的相反侧的上部与所述第二上部流路部的第二分支区间的端部的下部连通。

11.根据权利要求10所述的用以清洁基板的喷头的制造方法，其特征在于，在所述主体准备步骤中，所述第一上部流路部、所述第二上部流路部与所述多个下部流路分别通过加工而形成，

在所述结合步骤中，所述第一主体、所述第二主体的非加工部位与所述第一主体、所述第二主体的加工部位形成对向且密闭的流路构造。