[发明专利]传感器元件以及角速度传感器

说明书

在传感器元件的压电体中，2条驱动臂从基部向y方向的+y侧相互并列地延伸。2条检测臂从基部向‑y侧相互并列地延伸。保持部在2条检测臂之间从基部向‑y侧延伸，比2条检测臂的前端更向‑y侧延伸出。安装部与保持部的‑y侧的端部连接，具有检测侧延伸部和2个侧方延伸部。检测侧延伸部从与保持部的连接位置向+x侧以及‑x侧延伸。2个侧方延伸部从检测侧延伸部的比2条检测臂双方更靠+x侧以及‑x侧的位置向+y侧延伸。多个元件端子的至少一个位于比检测侧延伸部更靠+y侧的位置。

技术领域

本公开涉及传感器元件以及角速度传感器。

背景技术

作为角速度传感器(陀螺仪)的传感器元件而已知压电振动式的传感器元件(例如专利文献1以及2)。

专利文献1的传感器元件的压电体具有：基部；从基部相互并列延伸的1对驱动臂；和从基部向与1对驱动臂相反的一侧延伸的1对检测臂。若在驱动臂被激励的状态下传感器元件旋转，就会产生科里奥利的力，检测臂以与角速度相应的振幅振动。由此，在检测臂生成与角速度相应的电信号。

另外，专利文献1的传感器元件的压电体具有：支承棒，其在1对检测臂之间从基部与1对检测臂并列延伸，比检测臂的前端更向与基部相反的一侧延伸出；和固定板，其连接于支承棒的与基部相反的一侧的端部。基部经由支承棒而被固定板支承。

专利文献2的传感器元件的压电体具有：基部；从基部向相互相同方向延伸的驱动臂以及检测臂；和从基部延伸出的支承部。基部被支承部支承。支承部具有包围基部、驱动臂以及检测臂的框体(图11以及图13)。框体构成将基部、驱动臂以及检测臂封装的封装件的外壁的一部分。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：JP特开平10-54725号公报

专利文献2：JP特开2015-149591号公报

发明内容

本公开的一个方式所涉及的传感器元件具有压电体、多个第1电极以及多个第2电极、和分别与所述多个第1电极以及所述多个第2电极的任意连接的多个端子。所述压电体在正交坐标系xyz的z方向上来观察而具有基部、2条第1臂、2条第2臂、保持部和安装部。所述2条第1臂从所述基部向y方向的一侧相互并列地延伸。所述多个第1电极位于所述2条第1臂。所述2条第2臂从所述基部向y方向的另一侧相互并列地延伸。所述多个第2电极位于所述2条第2臂。所述保持部在所述2条第2臂之间从所述基部向y方向的所述另一侧延伸，比所述2条第2臂的前端更向y方向的所述另一侧延伸出。所述安装部与所述保持部的y方向的所述另一侧的端部连接。在所述安装部，设置有所述多个端子。所述安装部具有：从与所述保持部的连接位置向x侧以及-x侧延伸的第1延伸部；和从所述第1延伸部的比所述2条第2臂双方更靠+x侧以及-x侧的位置向y方向的所述一侧延伸的2个第2延伸部。所述多个端子的至少一个位于比所述第1延伸部更靠y方向的所述一侧的位置。

本公开的一个方式所涉及的角速度传感器具有：包含压电体的传感器元件；和安装所述传感器元件的安装基体。所述压电体在正交坐标系xyz的z方向来观察而具有基部、2条第1臂、2条第2臂、保持部和安装部。所述2条第1臂从所述基部向y方向的一侧相互并列地延伸。所述2条第2臂从所述基部向y方向的另一侧相互并列地延伸。所述保持部在所述2条第2臂之间从所述基部向y方向的所述另一侧延伸，比所述2条第2臂的前端更向y方向的所述另一侧延伸出。所述安装部与所述保持部的y方向的所述另一侧的端部连接，在多个固定位置固定于所述安装基体。所述安装部具有：从与所述保持部的连接位置向+x侧以及-x侧延伸的第1延伸部；从所述第1延伸部的比所述2条第2臂双方更靠+x侧以及-x侧的位置向y方向的所述一侧延伸的2个第2延伸部。所述多个固定位置的至少一个位于比所述第1延伸部更靠y方向的所述一侧的位置。

附图说明

图1是表示第1实施方式所涉及的角速度传感器的概略结构的分解立体图。