[发明专利]传感器元件以及角速度传感器在审
申请号: | 201980038284.4 | 申请日: | 2019-06-12 |
公开(公告)号: | CN112272754A | 公开(公告)日: | 2021-01-26 |
发明(设计)人: | 副岛宗高;高浪俊 | 申请(专利权)人: | 京瓷株式会社 |
主分类号: | G01C19/5607 | 分类号: | G01C19/5607;H01L41/113 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 王晖 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 传感器 元件 以及 角速度 | ||
1.一种传感器元件,具有:
压电体;
多个第1电极以及多个第2电极;和
分别与所述多个第1电极以及所述多个第2电极的任一者连接的多个端子,
所述压电体在正交坐标系xyz的z方向上来观察而具有:
基部;
从所述基部向y方向的一侧相互并列地延伸且设置有所述多个第1电极的2条第1臂;
从所述基部向y方向的另一侧相互并列地延伸且设置有所述多个第2电极的2条第2臂;
在所述2条第2臂彼此之间从所述基部向y方向的所述另一侧延伸且比所述2条第2臂的前端更向y方向的所述另一侧延伸出的保持部;和
与所述保持部的y方向的所述另一侧的端部连接且设置有所述多个端子的安装部,
所述安装部具有:
从与所述保持部的连接位置向x侧以及-x侧延伸的第1延伸部;和
从所述第1延伸部的比所述2条第2臂双方更靠+x侧以及-x侧的位置向y方向的所述一侧延伸的2个第2延伸部,
所述多个端子的至少一个位于比所述第1延伸部更靠y方向的所述一侧的位置。
2.根据权利要求1所述的传感器元件,其中,
所述2个第2延伸部比所述2条第2臂的前端更向y方向的所述一侧延伸,
所述多个端子的至少一个位于比所述2条第2臂的前端更靠y方向的所述一侧的位置。
3.根据权利要求1或2所述的传感器元件,其中,
在所述压电体中,所述安装部和所述基部经由所述保持部而连接,
所述多个端子的全部位于比所述第1延伸部更靠y方向的所述一侧的位置。
4.根据权利要求1~3中任一项所述的传感器元件,其中,
所述2个第2延伸部比所述2条第1臂的前端更向y方向的所述一侧延伸出,
所述安装部还具有:架设于所述2个第2延伸部的比所述2条第1臂的前端更靠y方向的所述一侧的部分之间的第3延伸部。
5.根据权利要求1~3中任一项所述的传感器元件,其中,
所述2个第2延伸部的y方向的所述一侧的端部构成所述安装部的两端,且位于比所述2条第1臂的前端更靠y方向的所述另一侧的位置。
6.一种角速度传感器,具有:
包含压电体的传感器元件;和
安装所述传感器元件的安装基体,
所述压电体在正交坐标系xyz的z方向上来观察而具有:
基部;
从所述基部向y方向的一侧相互并列地延伸的2条第1臂;
从所述基部向y方向的另一侧相互并列地延伸的2条第2臂;
在所述2条第2臂彼此之间从所述基部向y方向的所述另一侧延伸且比所述2条第2臂的前端更向y方向的所述另一侧延伸出的保持部;和
与所述保持部的y方向的所述另一侧的端部连接且在多个固定位置固定于所述安装基体的安装部,
所述安装部具有:
从与所述保持部的连接位置向+x侧以及-x侧延伸的第1延伸部;和
从所述第1延伸部的比所述2条第2臂双方更靠+x侧以及-x侧的位置向y方向的所述一侧延伸的2个第2延伸部,
所述多个固定位置的至少一个位于比所述第1延伸部更靠y方向的所述一侧的位置。
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