[发明专利]着色组合物及固体摄像元件用彩色滤光片的制造方法

说明书

本发明提供一种可抑制光致抗蚀剂剥离时的有机膜层损伤的固体摄像元件用彩色滤光片热硬化性着色组合物、以及使用其的彩色滤光片的制造方法。所述课题通过着色组合物而得以解决，所述着色组合物用于固体摄像元件用彩色滤光片的着色图案的形成，且包含有机颜料(A)、分散剂(B)、环氧化合物(C)、溶剂(D)及色素衍生物(E)，相对于所述着色组合物中的不挥发成分而所述有机颜料(A)的含量为50质量％以上，所述分散剂(B)包含具有酸性官能基的分散剂(b1)和/或具有碱性官能基的分散剂(b2)，所述环氧化合物(C)为选自由丙三醇聚缩水甘油醚、双酚型聚缩水甘油醚、及氢化双酚型聚缩水甘油醚所组成的群组中的一种以上的化合物。

技术领域

本发明涉及一种用于固体摄像元件等的彩色滤光片形成等的着色组合物。

背景技术

在固体摄像元件中设置有在半导体基板等基板上二维地排列有红色像素、绿色像素、蓝色像素等多种颜色的像素的彩色滤光片。在所述固体摄像元件中，随着像素尺寸缩小而颜色分离的性能要求变严格。构成彩色滤光片的固体摄像元件用彩色滤光片为了维持色差(colour shading)特性、防止混色等器件特性，要求薄膜化、矩形化、以及消除在各像素间颜色彼此重合的重叠区域等性能。

具体而言，固体摄像元件用彩色滤光片例如要求厚度为1μm以下且一边为2μm以下(例如0.5μm～2.0μm)的图案。

特别是，最近，根据固体摄像元件用彩色滤光片的进一步高精细化的要求，要求例如一边为1.0μm以下的图案的形成能力。因此，在光刻法中难以避免着色图案的薄膜与分辨力的取舍。

相对于此，提出有利用干式蚀刻法对着色层进行图案化来形成像素(参照专利文献1、专利文献2)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2003-332310号公报

专利文献2：日本专利特开2008-216970号公报

发明内容

发明所要解决的问题

但是，在干式蚀刻法中，需要利用剥离液将形成于着色层上的光致抗蚀剂剥离。此时，存在着色层因所述剥离液而受到损伤的问题。

另外，若使用热硬化性化合物以提高对于剥离液的耐受性，则存在保存稳定性恶化而在着色组合物中产生异物的问题。

本发明的目的在于提供一种可形成对于剥离液的耐受性优异的着色层且保存稳定性良好的着色组合物、以及使用所述着色组合物的固体摄像元件用着色图案的制造方法。

解决问题的技术手段

本发明提供具有下述1～8的构成的着色组合物、以及固体摄像元件用彩色滤光片的制造方法。

1一种着色组合物，用于固体摄像元件用彩色滤光片的着色图案的形成，且

所述着色组合物含有有机颜料(A)、分散剂(B)、环氧化合物(C)、溶剂(D)及色素衍生物(E)，

相对于所述着色组合物中的不挥发成分，所述有机颜料(A)的含有比例为50质量％以上，

所述分散剂(B)包含具有酸性官能基的分散剂(b1)和/或具有碱性官能基的分散剂(b2)，

所述环氧化合物(C)为选自由丙三醇聚缩水甘油醚、双酚型聚缩水甘油醚、及氢化双酚型聚缩水甘油醚所组成的群组中的一种以上的化合物。

2如上所述的着色组合物，其中所述有机颜料(A)包含绿色颜料(a1)。

3如上所述的着色组合物，其中所述绿色颜料包含选自颜料绿7、颜料绿36及颜料绿58中的一种以上。