[发明专利]着色组合物及固体摄像元件用彩色滤光片的制造方法

权利要求书

1.一种着色组合物，用于固体摄像元件用彩色滤光片的着色图案的形成，且

所述着色组合物含有有机颜料(A)、分散剂(B)、环氧化合物(C)、溶剂(D)及色素衍生物(E)，

相对于所述着色组合物中的不挥发成分，所述有机颜料(A)的含有比例为50质量％以上，

所述分散剂(B)包含具有酸性官能基的分散剂(b1)和/或具有碱性官能基的分散剂(b2)，

所述环氧化合物(C)为选自由丙三醇聚缩水甘油醚、双酚型聚缩水甘油醚、及氢化双酚型聚缩水甘油醚所组成的群组中的一种以上的化合物。

2.根据权利要求1所述的着色组合物，其中所述有机颜料(A)包含绿色颜料(a1)。

3.根据权利要求2所述的着色组合物，其中所述绿色颜料包含选自颜料绿7、颜料绿36及颜料绿58中的一种以上。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的着色组合物，其中所述具有酸性官能基的分散剂(b1)具有将包含(甲基)丙烯酸酯的乙烯性不饱和单体聚合而成的部位(b1-A)，所述部位(b1-A)的玻璃化温度的理论值为40℃以上。

5.根据权利要求4所述的着色组合物，其中所述酸性官能基为芳香族羧基。

6.一种固体摄像元件用彩色滤光片的制造方法，包括：步骤(X)，使用根据权利要求1至5中任一项所述的着色组合物而形成着色层；以及步骤(Y)，通过干式蚀刻对所述着色层进行图案化。

7.根据权利要求6所述用的固体摄像元件用彩色滤光片的制造方法，其中所述步骤(X)包括：步骤(X-1)，形成包含所述着色组合物的涂膜；以及步骤(X-2)，使所述涂膜进行热硬化而获得所述着色层，

所述步骤(Y)包括：步骤(Y-1)，在所述着色层上形成光致抗蚀剂层；步骤(Y-2)，通过进行曝光及显影对所述光致抗蚀剂层进行图案化而获得抗蚀剂图案；步骤(Y-3)，通过将所述抗蚀剂图案用作蚀刻掩模的干式蚀刻对所述着色层进行图案化而形成着色图案；以及步骤(Y-4)，使剥离液与所述抗蚀剂图案接触而自所述着色图案去除所述抗蚀剂图案。

8.根据权利要求7所述的固体摄像元件用彩色滤光片的制造方法，其中所述剥离液包含选自由N-甲基吡咯烷酮、二甲基亚砜及单乙醇胺所组成的群组中的一种以上。